一种磷化铟尾料制备磷化铟多晶的方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202111045842.5
申请日
2021-09-07
公开(公告)号
CN113774491B
公开(公告)日
2021-12-10
发明(设计)人
陈伟杰 白平平 周铁军 危严 林嘉威 齐正阳
申请人
申请人地址
511517 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间
IPC主分类号
C30B2940
IPC分类号
C30B2806
代理机构
北京天盾知识产权代理有限公司 11421
代理人
朱伟雄
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
富铟磷化铟多晶料的循环利用方法 [P]. 
赵有文 ;
董志远 ;
杨俊 ;
段满龙 .
中国专利 :CN107829141A ,2018-03-23
[2]
一种磷化铟多晶料的清洗方法 [P]. 
陈伟杰 ;
白平平 ;
周铁军 ;
齐正阳 .
中国专利 :CN114669546A ,2022-06-28
[3]
一种磷化铟多晶的制备方法和磷化铟多晶合成反应器 [P]. 
王金灵 ;
陈伟杰 ;
齐正阳 .
中国专利 :CN118814265A ,2024-10-22
[4]
一种磷化铟多晶合成装置 [P]. 
李勇 ;
曾志勇 ;
罗福敏 .
中国专利 :CN214193522U ,2021-09-14
[5]
磷化铟单晶的制备方法以及磷化铟单晶 [P]. 
摆易寒 ;
沈桂英 ;
赵有文 ;
谢辉 ;
卢伟 ;
李晨慧 ;
杨文文 ;
吕鑫雨 ;
范江涛 .
中国专利 :CN119776991A ,2025-04-08
[6]
一种磷化铟多晶合成的方法 [P]. 
林朋 ;
杨鹏 ;
付莉杰 ;
孙聂枫 ;
史艳磊 ;
王书杰 ;
秦敬凯 .
中国专利 :CN115896946B ,2025-08-29
[7]
磷化铟多晶水平合成装置 [P]. 
赵有文 ;
段满龙 .
中国专利 :CN206916255U ,2018-01-23
[8]
一种磷化铟多晶合成方法 [P]. 
乔印彬 ;
范钦明 ;
陈政委 ;
赵德刚 ;
张宇峰 .
中国专利 :CN117626437A ,2024-03-01
[9]
磷化铟衬底、检查磷化铟衬底的方法和制造磷化铟衬底的方法 [P]. 
藤原新也 ;
樋口恭明 .
中国专利 :CN107112201B ,2017-08-29
[10]
一种真空合成磷化铟多晶的方法 [P]. 
王飞 ;
谢文霞 ;
杨斌 ;
徐宝强 ;
陈巍 ;
戴卫平 ;
蒋文龙 ;
田阳 ;
曲涛 ;
邓勇 ;
刘大春 .
中国专利 :CN116145252B ,2024-10-01