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一种磷化铟尾料制备磷化铟多晶的方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202111045842.5
申请日
:
2021-09-07
公开(公告)号
:
CN113774491B
公开(公告)日
:
2021-12-10
发明(设计)人
:
陈伟杰
白平平
周铁军
危严
林嘉威
齐正阳
申请人
:
申请人地址
:
511517 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间
IPC主分类号
:
C30B2940
IPC分类号
:
C30B2806
代理机构
:
北京天盾知识产权代理有限公司 11421
代理人
:
朱伟雄
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-12-28
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 29/40 申请日:20210907
2021-12-10
公开
公开
2022-06-28
授权
授权
共 50 条
[1]
富铟磷化铟多晶料的循环利用方法
[P].
赵有文
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赵有文
;
董志远
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董志远
;
杨俊
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杨俊
;
段满龙
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段满龙
.
中国专利
:CN107829141A
,2018-03-23
[2]
一种磷化铟多晶料的清洗方法
[P].
陈伟杰
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陈伟杰
;
白平平
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白平平
;
周铁军
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周铁军
;
齐正阳
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齐正阳
.
中国专利
:CN114669546A
,2022-06-28
[3]
一种磷化铟多晶的制备方法和磷化铟多晶合成反应器
[P].
王金灵
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机构:
广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
王金灵
;
陈伟杰
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机构:
广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
陈伟杰
;
齐正阳
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机构:
广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
齐正阳
.
中国专利
:CN118814265A
,2024-10-22
[4]
一种磷化铟多晶合成装置
[P].
李勇
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李勇
;
曾志勇
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曾志勇
;
罗福敏
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罗福敏
.
中国专利
:CN214193522U
,2021-09-14
[5]
磷化铟单晶的制备方法以及磷化铟单晶
[P].
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机构:
摆易寒
;
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机构:
沈桂英
;
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机构:
赵有文
;
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机构:
谢辉
;
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机构:
卢伟
;
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机构:
李晨慧
;
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机构:
杨文文
;
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机构:
吕鑫雨
;
范江涛
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机构:
中国科学院半导体研究所
中国科学院半导体研究所
范江涛
.
中国专利
:CN119776991A
,2025-04-08
[6]
一种磷化铟多晶合成的方法
[P].
林朋
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机构:
中国电子科技集团公司第十三研究所
中国电子科技集团公司第十三研究所
林朋
;
杨鹏
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中国电子科技集团公司第十三研究所
中国电子科技集团公司第十三研究所
杨鹏
;
付莉杰
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机构:
中国电子科技集团公司第十三研究所
中国电子科技集团公司第十三研究所
付莉杰
;
孙聂枫
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机构:
中国电子科技集团公司第十三研究所
中国电子科技集团公司第十三研究所
孙聂枫
;
史艳磊
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机构:
中国电子科技集团公司第十三研究所
中国电子科技集团公司第十三研究所
史艳磊
;
王书杰
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机构:
中国电子科技集团公司第十三研究所
中国电子科技集团公司第十三研究所
王书杰
;
秦敬凯
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机构:
中国电子科技集团公司第十三研究所
中国电子科技集团公司第十三研究所
秦敬凯
.
中国专利
:CN115896946B
,2025-08-29
[7]
磷化铟多晶水平合成装置
[P].
赵有文
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赵有文
;
段满龙
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段满龙
.
中国专利
:CN206916255U
,2018-01-23
[8]
一种磷化铟多晶合成方法
[P].
乔印彬
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机构:
北京铭镓半导体有限公司
北京铭镓半导体有限公司
乔印彬
;
范钦明
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机构:
北京铭镓半导体有限公司
北京铭镓半导体有限公司
范钦明
;
陈政委
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机构:
北京铭镓半导体有限公司
北京铭镓半导体有限公司
陈政委
;
赵德刚
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机构:
北京铭镓半导体有限公司
北京铭镓半导体有限公司
赵德刚
;
张宇峰
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机构:
北京铭镓半导体有限公司
北京铭镓半导体有限公司
张宇峰
.
中国专利
:CN117626437A
,2024-03-01
[9]
磷化铟衬底、检查磷化铟衬底的方法和制造磷化铟衬底的方法
[P].
藤原新也
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藤原新也
;
樋口恭明
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樋口恭明
.
中国专利
:CN107112201B
,2017-08-29
[10]
一种真空合成磷化铟多晶的方法
[P].
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机构:
王飞
;
谢文霞
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机构:
昆明理工大学
昆明理工大学
谢文霞
;
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机构:
杨斌
;
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机构:
徐宝强
;
陈巍
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机构:
昆明理工大学
昆明理工大学
陈巍
;
戴卫平
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机构:
昆明理工大学
昆明理工大学
戴卫平
;
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机构:
蒋文龙
;
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机构:
田阳
;
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机构:
曲涛
;
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机构:
邓勇
;
论文数:
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机构:
刘大春
.
中国专利
:CN116145252B
,2024-10-01
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