磷化铟衬底、检查磷化铟衬底的方法和制造磷化铟衬底的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201580073159.9

申请日：

2015-12-07

公开(公告)号：

CN107112201B

公开(公告)日：

2017-08-29

发明(设计)人：

藤原新也樋口恭明

申请人：

申请人地址：

日本大阪府大阪市

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

B24B3708 B24B3710 C30B3300 H01L2120 H01L21304 H01L2166

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司 11219

代理人：

李兰;孙志湧

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-29	公开	公开
2020-07-28	授权	授权
2017-09-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101749359312 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2015800731599 申请日:20151207

共 50 条

[1]

磷化铟衬底和制造磷化铟衬底的方法 [P].

藤原新也 ;

樋口恭明 .

中国专利 :CN111952150A ,2020-11-17

[2]

磷化铟单晶衬底以及磷化铟单晶的制造方法 [P].

木户优花 ;

坂本良二 ;

柳泽拓弥 ;

善积祐介 ;

桥尾克司 .

日本专利 :CN119768572A ,2025-04-04

[3]

磷化铟单晶和磷化铟单晶衬底 [P].

桥尾克司 ;

鸿池一晓 ;

柳泽拓弥 .

日本专利 :CN112204175B ,2024-03-26

[4]

磷化铟单晶和磷化铟单晶衬底 [P].

桥尾克司 ;

鸿池一晓 ;

柳泽拓弥 .

中国专利 :CN112204175A ,2021-01-08

[5]

一种磷化铟衬底的制备方法 [P].

刘兴达 ;

周锐 ;

柯尊斌 ;

吴怀东 .

中国专利 :CN113206007B ,2021-08-03

[6]

磷化铟单结晶体和磷化铟单结晶衬底 [P].

柳泽拓弥 ;

鸿池一晓 ;

桥尾克司 .

中国专利 :CN110114519A ,2019-08-09

[7]

一种磷化铟衬底的清洗方法 [P].

郑金龙 ;

杨士超 ;

周铁军 .

中国专利 :CN112382555B ,2024-07-19

[8]

一种磷化铟衬底的清洗方法 [P].

郑金龙 ;

杨士超 ;

周铁军 .

中国专利 :CN112382555A ,2021-02-19

[9]

一种磷化铟衬底晶片的清洗方法 [P].

郑金龙 ;

周铁军 ;

马金峰 ;

刘良副 ;

董晨晨 ;

曾琦 ;

宋向荣 .

中国专利 :CN113793801A ,2021-12-14

[10]

磷化铟基板以及磷化铟基板的制造方法 [P].

井谷贤哉 ;

栗田英树 ;

林英昭 .

日本专利 :CN113692639B ,2025-02-11

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