共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种磷化铟衬底的清洗方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011264670.6
申请日：
2020-11-12
公开(公告)号：
CN112382555A
公开(公告)日：
2021-02-19
发明(设计)人：
郑金龙
杨士超
周铁军
申请人：
申请人地址：
511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区
IPC主分类号：
H01L2102
IPC分类号：
代理机构：
广州三环专利商标代理有限公司 44202
代理人：
颜希文
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-19 | 公开 | 公开 |
| 2021-12-28 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L 21/02 登记生效日:20211215 变更事项:申请人 变更前权利人:广东先导先进材料股份有限公司 变更后权利人:广东先导微电子科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区 变更后权利人:511517 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间 |
| 2021-03-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20201112 |