一种磷化铟衬底研磨加工方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411993059.5

申请日：

2024-12-31

公开(公告)号：

CN119772775A

公开(公告)日：

2025-04-08

发明(设计)人：

房现阁王卿伟罗海林童三红陈仕天易宁

申请人：

中锗科技有限公司

申请人地址：

211299 江苏省南京市溧水区中兴东路9号

IPC主分类号：

B24B37/04

IPC分类号：

B24B1/00 C09K3/14

代理机构：

南京正律知识产权代理事务所(普通合伙) 32744

代理人：

李建芳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省南京市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-25	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 37/04申请日:20241231
2025-04-08	公开	公开

共 50 条

[1]

磷化铟衬底、检查磷化铟衬底的方法和制造磷化铟衬底的方法 [P].

藤原新也 ;

樋口恭明 .

中国专利 :CN107112201B ,2017-08-29

[2]

磷化铟衬底和制造磷化铟衬底的方法 [P].

藤原新也 ;

樋口恭明 .

中国专利 :CN111952150A ,2020-11-17

[3]

一种磷化铟衬底的制备方法 [P].

刘兴达 ;

周锐 ;

柯尊斌 ;

吴怀东 .

中国专利 :CN113206007B ,2021-08-03

[4]

一种磷化铟衬底的清洗方法 [P].

郑金龙 ;

杨士超 ;

周铁军 .

中国专利 :CN112382555B ,2024-07-19

[5]

一种磷化铟衬底的清洗方法 [P].

郑金龙 ;

杨士超 ;

周铁军 .

中国专利 :CN112382555A ,2021-02-19

[6]

一种磷化铟研磨装置与磷化铟 [P].

郭锐 ;

范博 .

中国专利 :CN121104886A ,2025-12-12

[7]

磷化铟单晶和磷化铟单晶衬底 [P].

桥尾克司 ;

鸿池一晓 ;

柳泽拓弥 .

日本专利 :CN112204175B ,2024-03-26

[8]

磷化铟单晶和磷化铟单晶衬底 [P].

桥尾克司 ;

鸿池一晓 ;

柳泽拓弥 .

中国专利 :CN112204175A ,2021-01-08

[9]

一种磷化铟衬底晶片的清洗方法 [P].

郑金龙 ;

周铁军 ;

马金峰 ;

刘良副 ;

董晨晨 ;

曾琦 ;

宋向荣 .

中国专利 :CN113793801A ,2021-12-14

[10]

一种磷化铟研磨工艺与磷化铟 [P].

邢峥 ;

李海淼 .

中国专利 :CN114536208A ,2022-05-27

← 1 2 3 4 5 →