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一种晶圆片选片装置
被引：0
申请号：
CN202221720967.3
申请日：
2022-07-04
公开(公告)号：
CN218215228U
公开(公告)日：
2023-01-03
发明(设计)人：
洪加添
黄秀兰
申请人：
申请人地址：
350109 福建省福州市闽侯县南屿镇生物医药和机电产业园区
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214
代理人：
黄宏彪
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-01-03 | 授权 | 授权 |