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一种晶圆片盒
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202021531092.3
申请日
:
2020-07-29
公开(公告)号
:
CN212517140U
公开(公告)日
:
2021-02-09
发明(设计)人
:
胡明
胡洋
刘乾坤
陈恳
王虎
聂铭思
申请人
:
申请人地址
:
430000 湖北省武汉市未来科技城A5北C1栋902室
IPC主分类号
:
H01L21673
IPC分类号
:
代理机构
:
北京众达德权知识产权代理有限公司 11570
代理人
:
詹守琴
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-02-09
授权
授权
共 50 条
[1]
一种晶圆片盒
[P].
胡明
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胡明
;
高文丽
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高文丽
;
尚书丽
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尚书丽
;
王虎
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王虎
;
聂铭思
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聂铭思
;
陈雷
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陈雷
.
中国专利
:CN212967633U
,2021-04-13
[2]
晶圆片盒提篮
[P].
陈苏伟
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陈苏伟
;
吴光庆
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吴光庆
;
祝福生
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祝福生
;
张伟锋
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张伟锋
;
张富聪
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张富聪
.
中国专利
:CN110010534A
,2019-07-12
[3]
一种装载晶圆片盒的转动机构
[P].
殷鑫
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机构:
上海澈芯科技有限公司
上海澈芯科技有限公司
殷鑫
;
彭博方
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机构:
上海澈芯科技有限公司
上海澈芯科技有限公司
彭博方
.
中国专利
:CN222483323U
,2025-02-14
[4]
一种半导体晶圆兼容型双层片盒平台
[P].
王强
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王强
.
中国专利
:CN208077950U
,2018-11-09
[5]
晶圆片盒悬挂机构
[P].
陈苏伟
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陈苏伟
;
吴光庆
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吴光庆
;
宋文超
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宋文超
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吴娖
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吴娖
;
秦亚奇
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秦亚奇
.
中国专利
:CN109860087B
,2019-06-07
[6]
一种12寸晶圆片前开式传送盒开闭系统
[P].
周尤
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周尤
;
段昧存
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段昧存
;
韦树喜
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韦树喜
.
中国专利
:CN215496650U
,2022-01-11
[7]
一种晶圆片盒清洗结构
[P].
陈康
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陈康
;
刘四化
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刘四化
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王宜
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王宜
;
张啟涛
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张啟涛
.
中国专利
:CN214391542U
,2021-10-15
[8]
一种晶圆片盒定位装置
[P].
唐伟
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四川泰美克科技有限公司
四川泰美克科技有限公司
唐伟
;
叶竹之
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机构:
四川泰美克科技有限公司
四川泰美克科技有限公司
叶竹之
.
中国专利
:CN222637262U
,2025-03-18
[9]
一种晶圆片盒固定平台
[P].
蒋筱乐
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蒋筱乐
;
魏相霖
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魏相霖
.
中国专利
:CN216547443U
,2022-05-17
[10]
一种半导体晶圆片盒颗粒检测方法
[P].
赵而敬
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赵而敬
;
曹孜
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曹孜
;
刘建涛
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刘建涛
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李宗峰
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李宗峰
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盛方毓
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盛方毓
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冯泉林
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冯泉林
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闫志瑞
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闫志瑞
.
中国专利
:CN106898559A
,2017-06-27
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