一种晶圆片盒

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202021531092.3
申请日
2020-07-29
公开(公告)号
CN212517140U
公开(公告)日
2021-02-09
发明(设计)人
胡明 胡洋 刘乾坤 陈恳 王虎 聂铭思
申请人
申请人地址
430000 湖北省武汉市未来科技城A5北C1栋902室
IPC主分类号
H01L21673
IPC分类号
代理机构
北京众达德权知识产权代理有限公司 11570
代理人
詹守琴
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种晶圆片盒 [P]. 
胡明 ;
高文丽 ;
尚书丽 ;
王虎 ;
聂铭思 ;
陈雷 .
中国专利 :CN212967633U ,2021-04-13
[2]
晶圆片盒提篮 [P]. 
陈苏伟 ;
吴光庆 ;
祝福生 ;
张伟锋 ;
张富聪 .
中国专利 :CN110010534A ,2019-07-12
[3]
一种装载晶圆片盒的转动机构 [P]. 
殷鑫 ;
彭博方 .
中国专利 :CN222483323U ,2025-02-14
[4]
一种半导体晶圆兼容型双层片盒平台 [P]. 
王强 .
中国专利 :CN208077950U ,2018-11-09
[5]
晶圆片盒悬挂机构 [P]. 
陈苏伟 ;
吴光庆 ;
宋文超 ;
吴娖 ;
秦亚奇 .
中国专利 :CN109860087B ,2019-06-07
[6]
一种12寸晶圆片前开式传送盒开闭系统 [P]. 
周尤 ;
段昧存 ;
韦树喜 .
中国专利 :CN215496650U ,2022-01-11
[7]
一种晶圆片盒清洗结构 [P]. 
陈康 ;
刘四化 ;
王宜 ;
张啟涛 .
中国专利 :CN214391542U ,2021-10-15
[8]
一种晶圆片盒定位装置 [P]. 
唐伟 ;
叶竹之 .
中国专利 :CN222637262U ,2025-03-18
[9]
一种晶圆片盒固定平台 [P]. 
蒋筱乐 ;
魏相霖 .
中国专利 :CN216547443U ,2022-05-17
[10]
一种半导体晶圆片盒颗粒检测方法 [P]. 
赵而敬 ;
曹孜 ;
刘建涛 ;
李宗峰 ;
盛方毓 ;
冯泉林 ;
闫志瑞 .
中国专利 :CN106898559A ,2017-06-27