晶圆传送装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920535592.5

申请日：

2019-04-18

公开(公告)号：

CN209929281U

公开(公告)日：

2020-01-10

发明(设计)人：

张大龙麦永业栾剑峰刘家桦叶日铨

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

王宏婧

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-10	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆传送装置 [P].

杨艳全 .

中国专利 :CN204257608U ,2015-04-08

[2]

晶圆传送手臂、晶圆传送装置及晶圆传送方法 [P].

乔鹏 .

中国专利 :CN119725189A ,2025-03-28

[3]

晶圆传送装置 [P].

林立 ;

吴孝哲 ;

林宗贤 ;

吴龙江 ;

胡广严 .

中国专利 :CN208954960U ,2019-06-07

[4]

晶圆传送装置 [P].

熊紫超 ;

黄海辉 ;

刘高山 ;

王星 ;

周鹏 ;

张小强 .

中国专利 :CN213184237U ,2021-05-11

[5]

晶圆传送装置 [P].

钟蔚 ;

马海 ;

李洪燕 .

中国专利 :CN201364888Y ,2009-12-16

[6]

晶圆传送装置 [P].

徐纯 ;

莫少文 ;

林晓瑜 .

中国专利 :CN210110736U ,2020-02-21

[7]

晶圆传送装置 [P].

宫李科 ;

褚洪彬 ;

章华珍 ;

毛荣宽 .

中国专利 :CN221262322U ,2024-07-02

[8]

晶圆传送装置 [P].

廖明俊 ;

赵亮 ;

孙俊杰 ;

蒋秦苏 .

中国专利 :CN202905678U ,2013-04-24

[9]

晶圆传送装置 [P].

夏凡 ;

刘志鹏 ;

陈勇志 ;

任存生 .

中国专利 :CN201364889Y ,2009-12-16

[10]

气锁及晶圆传送装置 [P].

王敏磊 ;

栾剑峰 ;

刘家桦 .

中国专利 :CN207938584U ,2018-10-02

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