气锁及晶圆传送装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820390528.8

申请日：

2018-03-21

公开(公告)号：

CN207938584U

公开(公告)日：

2018-10-02

发明(设计)人：

王敏磊栾剑峰刘家桦

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤;陈丽丽

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-10-02	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆传送装置、晶圆传送装置的控制方法及晶圆加工设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN109786297B ,2019-05-21

[2]

晶圆传送手臂、晶圆传送装置及晶圆传送方法 [P].

乔鹏 .

中国专利 :CN119725189A ,2025-03-28

[3]

一种晶圆传送装置 [P].

黄宗友 .

中国专利 :CN217062053U ,2022-07-26

[4]

晶圆传送装置及晶圆传送方法 [P].

许嘉祐 ;

申世泓 ;

颜炎 ;

涂伟峰 ;

黄政贤 .

中国专利 :CN112838037A ,2021-05-25

[5]

晶圆气锁装置 [P].

赵军 ;

王兆祥 .

中国专利 :CN113035681A ,2021-06-25

[6]

晶圆传送装置 [P].

杨艳全 .

中国专利 :CN204257608U ,2015-04-08

[7]

晶圆传送装置 [P].

宫李科 ;

褚洪彬 ;

章华珍 ;

毛荣宽 .

中国专利 :CN221262322U ,2024-07-02

[8]

晶圆传送装置 [P].

张大龙 ;

麦永业 ;

栾剑峰 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN209929281U ,2020-01-10

[9]

一种晶圆方向识别系统及晶圆传送盒 [P].

严诗佳 ;

罗聪 .

中国专利 :CN107622963A ,2018-01-23

[10]

晶圆检测方法及晶圆检测装置 [P].

苏旭文 .

中国专利 :CN119601486A ,2025-03-11

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