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一种晶圆传送装置
被引：0
申请号：
CN202220562713.7
申请日：
2022-03-15
公开(公告)号：
CN217062053U
公开(公告)日：
2022-07-26
发明(设计)人：
黄宗友
申请人：
申请人地址：
402760 重庆市璧山区璧泉街道钨山路69号(1号厂房)
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
H01L21677
代理机构：
深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268
代理人：
朱阳波;王娅洁
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-07-26 | 授权 | 授权 |