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一种晶圆传送系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510252665.X
申请日：
2025-03-04
公开(公告)号：
CN120109072A
公开(公告)日：
2025-06-06
发明(设计)人：
丁欣
申请人：
丁欣
上海埃延半导体有限公司
申请人地址：
200131 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区新杨公路1588号4幢
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01L21/677
H01L21/687
代理机构：
上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313
代理人：
张东梅
法律状态：
公开
国省代码：
上海市
市辖区
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-06-06 | 公开 | 公开 |
| 2025-06-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20250304 |