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一种晶圆传送系统检测方法及晶圆传送系统

被引：0
申请号：
CN202111517725.4
申请日：
2021-12-09
公开(公告)号：
CN114295199A
公开(公告)日：
2022-04-08
发明(设计)人：
周亮
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座
IPC主分类号：
G01H1700
IPC分类号：
G01H900 H01L21677
代理机构：
北京路浩知识产权代理有限公司 11002
代理人：
李文丽
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-04-08 公开 公开
共 50 条
[1]
晶圆传送系统检测方法及晶圆传送系统 [P]. 
周亮 .
中国专利 :CN113899446A ,2022-01-07
[2]
晶圆传送系统的检测方法及晶圆传送系统 [P]. 
于浩 .
中国专利 :CN114295735A ,2022-04-08
[3]
晶圆传送系统及晶圆传送方法 [P]. 
谭小龙 ;
涂乐义 ;
王兆祥 ;
梁洁 ;
桂智谦 .
中国专利 :CN119008484A ,2024-11-22
[4]
晶圆传送系统及晶圆传送方法 [P]. 
谭小龙 ;
涂乐义 ;
王兆祥 ;
梁洁 ;
桂智谦 .
中国专利 :CN119008484B ,2025-08-19
[5]
晶圆盒、晶圆传送系统及晶圆传送方法 [P]. 
李言彬 ;
杨苏 ;
洪兴峰 ;
李义群 .
中国专利 :CN113192872B ,2021-07-30
[6]
一种晶圆传送系统及晶圆传送方法 [P]. 
李君 .
中国专利 :CN114446847A ,2022-05-06
[7]
晶圆传送系统和晶圆传送方法 [P]. 
金正泰 .
中国专利 :CN102412177B ,2012-04-11
[8]
晶圆传送方法及系统 [P]. 
王鑫国 ;
吴一帆 .
中国专利 :CN118824913A ,2024-10-22
[9]
一种晶圆传送臂及晶圆传送系统 [P]. 
李天祥 ;
苗荣 ;
喻泽锋 ;
李天涯 .
中国专利 :CN223181118U ,2025-08-01
[10]
晶圆传送系统 [P]. 
黄彪 ;
刘涛 ;
张欣 .
中国专利 :CN105742216A ,2016-07-06
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