一种晶圆传送装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200620049610.1

申请日：

2006-12-27

公开(公告)号：

CN200986916Y

公开(公告)日：

2007-12-05

发明(设计)人：

庞明磊丁备林徐卫刘国明

申请人：

申请人地址：

201203上海市张江路18号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

B65G4907 B65G4905

代理机构：

上海智信专利代理有限公司

代理人：

王洁

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-01-25	专利权的终止	专利权有效期届满号牌文件类型代码:1611 号牌文件序号:101700189254 IPC(主分类):H01L 21/677 专利号:ZL2006200496101 申请日:20061227 授权公告日:20071205 终止日期:无
2007-12-05	授权	授权
2013-04-10	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101563004398 IPC(主分类):H01L 21/677 专利号:ZL2006200496101 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市张江路18号变更后权利人:100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号登记生效日:20130318

共 50 条

[1]

一种晶圆传送装置 [P].

吴志锋 ;

哈捷 .

中国专利 :CN221928022U ,2024-10-29

[2]

一种晶圆传送装置 [P].

黄宗友 .

中国专利 :CN217062053U ,2022-07-26

[3]

一种晶圆传送装置 [P].

旷运中 ;

陈成 .

中国专利 :CN216413030U ,2022-04-29

[4]

一种晶圆传送装置 [P].

陈壮 ;

沈皓光 .

中国专利 :CN215933547U ,2022-03-01

[5]

一种晶圆传送装置 [P].

王军 ;

殷献勇 ;

刘起武 ;

张琳 .

中国专利 :CN203048166U ,2013-07-10

[6]

一种晶圆传送装置 [P].

王世伟 .

中国专利 :CN204792740U ,2015-11-18

[7]

一种晶圆传送装置 [P].

史爽 ;

庞洪荣 ;

杜亮 .

中国专利 :CN204257610U ,2015-04-08

[8]

晶圆传送装置 [P].

林立 ;

吴孝哲 ;

林宗贤 ;

吴龙江 ;

胡广严 .

中国专利 :CN208954960U ,2019-06-07

[9]

晶圆传送装置 [P].

熊紫超 ;

黄海辉 ;

刘高山 ;

王星 ;

周鹏 ;

张小强 .

中国专利 :CN213184237U ,2021-05-11

[10]

晶圆传送装置 [P].

钟蔚 ;

马海 ;

李洪燕 .

中国专利 :CN201364888Y ,2009-12-16

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