一种晶圆传送装置

被引：0

申请号：

CN202122957711.6

申请日：

2021-11-29

公开(公告)号：

CN216413030U

公开(公告)日：

2022-04-29

发明(设计)人：

旷运中陈成

申请人：

申请人地址：

400030 重庆市沙坪坝区西园一路28号附2号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

重庆中之信知识产权代理事务所(普通合伙) 50213

代理人：

梁欣

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-29	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆传送装置 [P].

林立 ;

吴孝哲 ;

林宗贤 ;

吴龙江 ;

胡广严 .

中国专利 :CN208954960U ,2019-06-07

[2]

一种晶圆传送装置 [P].

庞明磊 ;

丁备林 ;

徐卫 ;

刘国明 .

中国专利 :CN200986916Y ,2007-12-05

[3]

一种晶圆传送装置 [P].

吴志锋 ;

哈捷 .

中国专利 :CN221928022U ,2024-10-29

[4]

一种晶圆传送装置 [P].

黄宗友 .

中国专利 :CN217062053U ,2022-07-26

[5]

一种晶圆传送装置 [P].

王军 ;

殷献勇 ;

刘起武 ;

张琳 .

中国专利 :CN203048166U ,2013-07-10

[6]

一种晶圆传送装置 [P].

王世伟 .

中国专利 :CN204792740U ,2015-11-18

[7]

一种晶圆传送装置 [P].

史爽 ;

庞洪荣 ;

杜亮 .

中国专利 :CN204257610U ,2015-04-08

[8]

一种晶圆传送装置 [P].

黄能 .

中国专利 :CN222914765U ,2025-05-27

[9]

一种晶圆或玻璃传送装置 [P].

刘明郎 ;

刘明芳 .

中国专利 :CN206293418U ,2017-06-30

[10]

晶圆传送装置 [P].

熊紫超 ;

黄海辉 ;

刘高山 ;

王星 ;

周鹏 ;

张小强 .

中国专利 :CN213184237U ,2021-05-11

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