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电容式微机械加速度计
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202010573949.6
申请日
:
2020-06-22
公开(公告)号
:
CN112230018A
公开(公告)日
:
2021-01-15
发明(设计)人
:
绀野彰
加藤良隆
维莱-佩卡·吕特克宁
申请人
:
申请人地址
:
日本京都府
IPC主分类号
:
G01P15125
IPC分类号
:
G01P1518
代理机构
:
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
:
唐京桥;杨林森
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-02-02
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):G01P 15/125 申请日:20200622
2021-01-15
公开
公开
共 50 条
[1]
电容式微机械加速度计
[P].
刘恒
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刘恒
;
于步云
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于步云
;
孟瑞丽
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孟瑞丽
;
孙冬娇
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孙冬娇
.
中国专利
:CN204008697U
,2014-12-10
[2]
电容式微机械加速度计
[P].
严世涛
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严世涛
;
占瞻
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占瞻
;
杨珊
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杨珊
;
马昭
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马昭
;
阚枭
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阚枭
;
彭宏韬
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彭宏韬
;
李杨
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李杨
;
黎家健
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黎家健
;
陈秋玉
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陈秋玉
.
中国专利
:CN115453146A
,2022-12-09
[3]
电容式微机械加速度计
[P].
严世涛
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机构:
瑞声开泰科技(武汉)有限公司
瑞声开泰科技(武汉)有限公司
严世涛
;
占瞻
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机构:
瑞声开泰科技(武汉)有限公司
瑞声开泰科技(武汉)有限公司
占瞻
;
杨珊
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瑞声开泰科技(武汉)有限公司
瑞声开泰科技(武汉)有限公司
杨珊
;
马昭
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瑞声开泰科技(武汉)有限公司
瑞声开泰科技(武汉)有限公司
马昭
;
阚枭
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机构:
瑞声开泰科技(武汉)有限公司
瑞声开泰科技(武汉)有限公司
阚枭
;
彭宏韬
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机构:
瑞声开泰科技(武汉)有限公司
瑞声开泰科技(武汉)有限公司
彭宏韬
;
李杨
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瑞声开泰科技(武汉)有限公司
瑞声开泰科技(武汉)有限公司
李杨
;
黎家健
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机构:
瑞声开泰科技(武汉)有限公司
瑞声开泰科技(武汉)有限公司
黎家健
;
陈秋玉
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机构:
瑞声开泰科技(武汉)有限公司
瑞声开泰科技(武汉)有限公司
陈秋玉
.
中国专利
:CN115453146B
,2025-12-19
[4]
Z轴电容式微机械加速度计
[P].
刘恒
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刘恒
;
宋安
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宋安
;
孟瑞丽
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孟瑞丽
;
周鹏
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周鹏
.
中国专利
:CN203759053U
,2014-08-06
[5]
Z轴电容式微机械加速度计
[P].
刘恒
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刘恒
;
宋安
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宋安
;
孟瑞丽
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孟瑞丽
;
周鹏
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周鹏
.
中国专利
:CN103675348A
,2014-03-26
[6]
电容式微机械加速度计及其制造方法
[P].
刘恒
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刘恒
;
于步云
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于步云
;
孟瑞丽
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孟瑞丽
;
孙冬娇
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孙冬娇
.
中国专利
:CN104155475B
,2014-11-19
[7]
电容式微电子机械加速度计
[P].
马蒂·柳库
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马蒂·柳库
;
维莱-佩卡·吕特克宁
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维莱-佩卡·吕特克宁
.
中国专利
:CN108872638B
,2018-11-23
[8]
一种电容式微机械加速度计
[P].
闫桂珍
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闫桂珍
;
赵前程
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赵前程
.
中国专利
:CN113391094A
,2021-09-14
[9]
一种电容式微机械加速度计
[P].
赵前程
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赵前程
;
闫桂珍
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闫桂珍
;
崔健
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崔健
;
杨振川
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杨振川
.
中国专利
:CN113138292B
,2021-07-20
[10]
一种电容式微机械加速度计
[P].
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机构:
熊瑞宏
;
论文数:
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机构:
李昕欣
;
陈方
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机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
陈方
.
中国专利
:CN118191362A
,2024-06-14
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