电容式微机械加速度计

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202010573949.6
申请日
2020-06-22
公开(公告)号
CN112230018A
公开(公告)日
2021-01-15
发明(设计)人
绀野彰 加藤良隆 维莱-佩卡·吕特克宁
申请人
申请人地址
日本京都府
IPC主分类号
G01P15125
IPC分类号
G01P1518
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
唐京桥;杨林森
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
电容式微机械加速度计 [P]. 
刘恒 ;
于步云 ;
孟瑞丽 ;
孙冬娇 .
中国专利 :CN204008697U ,2014-12-10
[2]
电容式微机械加速度计 [P]. 
严世涛 ;
占瞻 ;
杨珊 ;
马昭 ;
阚枭 ;
彭宏韬 ;
李杨 ;
黎家健 ;
陈秋玉 .
中国专利 :CN115453146A ,2022-12-09
[3]
电容式微机械加速度计 [P]. 
严世涛 ;
占瞻 ;
杨珊 ;
马昭 ;
阚枭 ;
彭宏韬 ;
李杨 ;
黎家健 ;
陈秋玉 .
中国专利 :CN115453146B ,2025-12-19
[4]
Z轴电容式微机械加速度计 [P]. 
刘恒 ;
宋安 ;
孟瑞丽 ;
周鹏 .
中国专利 :CN203759053U ,2014-08-06
[5]
Z轴电容式微机械加速度计 [P]. 
刘恒 ;
宋安 ;
孟瑞丽 ;
周鹏 .
中国专利 :CN103675348A ,2014-03-26
[6]
电容式微机械加速度计及其制造方法 [P]. 
刘恒 ;
于步云 ;
孟瑞丽 ;
孙冬娇 .
中国专利 :CN104155475B ,2014-11-19
[7]
电容式微电子机械加速度计 [P]. 
马蒂·柳库 ;
维莱-佩卡·吕特克宁 .
中国专利 :CN108872638B ,2018-11-23
[8]
一种电容式微机械加速度计 [P]. 
闫桂珍 ;
赵前程 .
中国专利 :CN113391094A ,2021-09-14
[9]
一种电容式微机械加速度计 [P]. 
赵前程 ;
闫桂珍 ;
崔健 ;
杨振川 .
中国专利 :CN113138292B ,2021-07-20
[10]
一种电容式微机械加速度计 [P]. 
熊瑞宏 ;
李昕欣 ;
陈方 .
中国专利 :CN118191362A ,2024-06-14