电容式微电子机械加速度计

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810414277.7

申请日：

2018-05-03

公开(公告)号：

CN108872638B

公开(公告)日：

2018-11-23

发明(设计)人：

马蒂·柳库维莱-佩卡·吕特克宁

申请人：

申请人地址：

日本京都府

IPC主分类号：

G01P1518

IPC分类号：

G01P15125

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

康建峰;杨华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01P 15/18 申请日:20180503
2020-12-01	授权	授权
2018-11-23	公开	公开

共 50 条

[1]

电容式微电子机械加速度计 [P].

马蒂·柳库 ;

维莱-佩卡·吕特克宁 .

中国专利 :CN108982917B ,2018-12-11

[2]

电容式微机械加速度计 [P].

绀野彰 ;

加藤良隆 ;

维莱-佩卡·吕特克宁 .

中国专利 :CN112230018A ,2021-01-15

[3]

闭环微电子机械加速度计和制造微电子机械加速度计方法 [P].

G·加特瑞 ;

J·M·达马宁 ;

F·里奇尼 ;

C·瓦尔扎希纳 .

中国专利 :CN115700382A ,2023-02-07

[4]

电容式微机械加速度计 [P].

严世涛 ;

占瞻 ;

杨珊 ;

马昭 ;

阚枭 ;

彭宏韬 ;

李杨 ;

黎家健 ;

陈秋玉 .

中国专利 :CN115453146A ,2022-12-09

[5]

电容式微机械加速度计 [P].

刘恒 ;

于步云 ;

孟瑞丽 ;

孙冬娇 .

中国专利 :CN204008697U ,2014-12-10

[6]

电容式微机械加速度计 [P].

严世涛 ;

占瞻 ;

杨珊 ;

马昭 ;

阚枭 ;

彭宏韬 ;

李杨 ;

黎家健 ;

陈秋玉 .

中国专利 :CN115453146B ,2025-12-19

[7]

金属电容式微加速度计 [P].

陈文元 ;

李凯 ;

吴校生 ;

张卫平 ;

崔峰 .

中国专利 :CN101089625A ,2007-12-19

[8]

梳齿电容式微加速度计 [P].

张照云 ;

苏伟 ;

唐彬 ;

彭勃 ;

陈颖慧 .

中国专利 :CN104133080B ,2014-11-05

[9]

梳齿电容式微加速度计 [P].

张照云 ;

苏伟 ;

唐彬 ;

彭勃 ;

陈颖慧 .

中国专利 :CN204028106U ,2014-12-17

[10]

Z轴电容式微机械加速度计 [P].

刘恒 ;

宋安 ;

孟瑞丽 ;

周鹏 .

中国专利 :CN203759053U ,2014-08-06

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