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掩模板及制造阵列基板的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201210156894.4
申请日：
2012-05-18
公开(公告)号：
CN102707575B
公开(公告)日：
2012-10-03
发明(设计)人：
邓检
李晓坤
木素真
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区西环中路8号
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
G03F900
H01L2177
代理机构：
北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291
代理人：
黄志华
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-10-03 | 公开 | 公开 |
| 2015-02-25 | 授权 | 授权 |
| 2012-11-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101353335222 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2012101568944 申请日:20120518 |