三氯硅烷制造装置及三氯硅烷的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310302831.X

申请日：

2009-08-03

公开(公告)号：

CN103496704A

公开(公告)日：

2014-01-08

发明(设计)人：

石井敏由记驹井荣治佐藤春美

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C01B33107

IPC分类号：

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

杨楷

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-02-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101570128548 IPC(主分类):C01B 33/107 专利申请号:201310302831X 申请日:20090803
2015-10-21	授权	授权
2014-01-08	公开	公开

共 50 条

[1]

三氯硅烷制造装置及三氯硅烷的制造方法 [P].

石井敏由记 ;

驹井荣治 ;

佐藤春美 .

中国专利 :CN101643213A ,2010-02-10

[2]

三氯硅烷制造装置及三氯硅烷制造方法 [P].

稻叶力 .

中国专利 :CN101417804A ,2009-04-29

[3]

三氯硅烷制造装置以及三氯硅烷制造方法 [P].

生川满敏 .

中国专利 :CN101798086A ,2010-08-11

[4]

三氯硅烷的制造方法及制造装置 [P].

立野升 ;

竹末久幸 ;

佐藤春美 .

中国专利 :CN101519205B ,2009-09-02

[5]

三氯硅烷制造装置 [P].

三宅政美 ;

水岛一树 ;

斋木涉 ;

村上直也 .

中国专利 :CN102190304B ,2011-09-21

[6]

三氯硅烷的制造方法及三氯硅烷的制造装置 [P].

弘田贤次 ;

荻原克弥 .

中国专利 :CN111372892A ,2020-07-03

[7]

三氯硅烷制造装置及制造方法 [P].

村上直也 ;

斎木涉 .

中国专利 :CN102161489A ,2011-08-24

[8]

三氯硅烷制造装置及制造方法 [P].

村上直也 ;

斎木涉 .

中国专利 :CN104192848A ,2014-12-10

[9]

三氯硅烷制造装置及制造方法 [P].

三宅政美 ;

斎木涉 .

中国专利 :CN102190303B ,2011-09-21

[10]

三氯硅烷制造装置以及三氯硅烷的制造方法 [P].

弘田贤次 ;

荻原克弥 .

中国专利 :CN111108065A ,2020-05-05

← 1 2 3 4 5 →