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三氯硅烷制造装置以及三氯硅烷制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201010003779.4
申请日：
2010-01-18
公开(公告)号：
CN101798086A
公开(公告)日：
2010-08-11
发明(设计)人：
生川满敏
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
C01B33107
IPC分类号：
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人：
崔幼平;杨楷
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-03-18 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101601609124 IPC(主分类):C01B 33/107 专利号:ZL2010100037794 申请日:20100118 授权公告日:20130724 终止日期:20140118 |
| 2013-07-24 | 授权 | 授权 |
| 2010-08-11 | 公开 | 公开 |
| 2011-12-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101151318411 IPC(主分类):C01B 33/107 专利申请号:2010100037794 申请日:20100118 |