三氯硅烷制造装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200780027354.3

申请日：

2007-10-25

公开(公告)号：

CN101489931B

公开(公告)日：

2009-07-22

发明(设计)人：

石井敏由记伊藤秀男清水祐司

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C01B33107

IPC分类号：

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

温大鹏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-09-16	实质审查的生效	实质审查的生效
2012-01-11	授权	授权
2009-07-22	公开	公开

共 50 条

[1]

三氯硅烷制造装置 [P].

生川满敏 ;

清水祐司 .

中国专利 :CN101535180A ,2009-09-16

[2]

三氯硅烷制造装置 [P].

石井敏由记 ;

伊藤秀男 ;

清水祐司 .

中国专利 :CN101421188A ,2009-04-29

[3]

三氯硅烷制造装置 [P].

石井敏由记 ;

伊藤秀男 ;

清水祐司 .

中国专利 :CN101421189A ,2009-04-29

[4]

三氯硅烷制造装置 [P].

石井敏由记 ;

伊藤秀男 ;

清水祐司 .

中国专利 :CN101421190B ,2009-04-29

[5]

三氯硅烷制造装置 [P].

三宅政美 ;

村上直也 .

中国专利 :CN103130226B ,2013-06-05

[6]

三氯硅烷制造装置及三氯硅烷制造方法 [P].

稻叶力 .

中国专利 :CN101417804A ,2009-04-29

[7]

三氯硅烷制造装置以及三氯硅烷制造方法 [P].

生川满敏 .

中国专利 :CN101798086A ,2010-08-11

[8]

三氯硅烷制造装置 [P].

三宅政美 ;

水岛一树 ;

斋木涉 ;

村上直也 .

中国专利 :CN102190304B ,2011-09-21

[9]

三氯硅烷制造装置及三氯硅烷的制造方法 [P].

石井敏由记 ;

驹井荣治 ;

佐藤春美 .

中国专利 :CN101643213A ,2010-02-10

[10]

三氯硅烷制造装置及三氯硅烷的制造方法 [P].

石井敏由记 ;

驹井荣治 ;

佐藤春美 .

中国专利 :CN103496704A ,2014-01-08

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