同时产生电离和位移缺陷的辐照粒子能量选择方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810136626.3

申请日：

2018-02-09

公开(公告)号：

CN108335979B

公开(公告)日：

2018-07-27

发明(设计)人：

李兴冀杨剑群刘超铭吕钢董尚利

申请人：

申请人地址：

150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

IPC主分类号：

H01L21322

IPC分类号：

代理机构：

哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109

代理人：

孟宪会

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-08-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/322 申请日:20180209
2018-07-27	公开	公开
2020-06-30	授权	授权

共 50 条

[1]

一种基于电离辐照诱导位移缺陷退火的方法 [P].

李兴冀 ;

杨剑群 ;

刘超铭 ;

吕钢 .

中国专利 :CN108346565B ,2018-07-31

[2]

一种同时产生电离和位移缺陷信号的器件及其制备方法 [P].

李兴冀 ;

杨剑群 ;

刘超铭 ;

刘勇 .

中国专利 :CN108281480B ,2018-07-13

[3]

一种研究电离缺陷和位移缺陷间接交互作用的试验方法 [P].

李兴冀 ;

杨剑群 ;

刘超铭 ;

吕钢 .

中国专利 :CN108345747A ,2018-07-31

[4]

一种研究电离缺陷和位移缺陷直接交互作用的试验方法 [P].

李兴冀 ;

杨剑群 ;

刘超铭 ;

董尚利 .

中国专利 :CN108363864B ,2018-08-03

[5]

一种基于带电粒子辐照产生级联及点缺陷的方法 [P].

李兴冀 ;

杨剑群 ;

刘超铭 ;

马国亮 .

中国专利 :CN106483061A ,2017-03-08

[6]

不同能量入射粒子辐照器件的缺陷演化仿真方法及系统 [P].

李兴冀 ;

荆宇航 ;

徐晓东 ;

魏亚东 ;

刘中利 .

中国专利 :CN115146458A ,2022-10-04

[7]

一种抑制双极晶体管电离缺陷形成的方法 [P].

杨剑群 ;

李兴冀 ;

赵金宇 ;

董尚利 .

中国专利 :CN108346575A ,2018-07-31

[8]

双极型器件电离和位移辐射损伤缺陷辨别方法 [P].

李兴冀 ;

刘超铭 ;

杨剑群 ;

马国亮 .

中国专利 :CN106353344B ,2017-01-25

[9]

模拟粒子辐照损伤的时间步长优化方法 [P].

李祥艳 ;

许依春 ;

张艳革 ;

郝丛宇 ;

尤玉伟 ;

孔祥山 ;

刘伟 ;

吴学邦 ;

刘长松 ;

方前锋 ;

王先平 ;

张涛 .

中国专利 :CN108595842B ,2018-09-28

[10]

基于空间辐照的不同入射粒子类型的仿真方法及系统 [P].

李兴冀 ;

徐晓东 ;

杨剑群 ;

吕钢 .

中国专利 :CN115146516A ,2022-10-04

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