用于多波束扫描式电子显微系统的聚焦调整的方法及系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680052662.0

申请日：

2016-09-23

公开(公告)号：

CN108027499B

公开(公告)日：

2018-05-11

发明(设计)人：

M·A·麦科德 R·克尼彭迈耶 D·马斯纳盖蒂 R·R·西蒙斯 S·A·永

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

G02B2120

IPC分类号：

H01J37317

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

张世俊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-12	授权	授权
2018-10-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 21/20 申请日:20160923
2018-05-11	公开	公开

共 50 条

[1]

多柱扫描式电子显微镜系统 [P].

R·海恩斯 ;

A·韦尔克 ;

M·纳赛尔-古德西 ;

J·格尔林 ;

T·普勒特纳 .

中国专利 :CN114678245A ,2022-06-28

[2]

多柱扫描式电子显微镜系统 [P].

R·海恩斯 ;

A·韦尔克 ;

M·纳赛尔-古德西 ;

J·格尔林 ;

T·普勒特纳 .

中国专利 :CN110383416B ,2019-10-25

[3]

在多列扫描电子显微镜系统中用于校正阵列散光的设备及方法 [P].

A·布罗迪 .

中国专利 :CN109690726A ,2019-04-26

[4]

多束扫描电子显微镜系统中噪声减少的方法及系统 [P].

M·A·麦科德 ;

R·克尼彭迈耶 ;

D·马斯纳盖蒂 ;

R·R·西蒙斯 .

中国专利 :CN108027501B ,2018-05-11

[5]

用于压缩扫描电子显微术的系统和方法 [P].

布赖恩·W·里德 .

中国专利 :CN105745736A ,2016-07-06

[6]

扫描式电子显微镜 [P].

郭养国 ;

邓国星 .

中国专利 :CN101383261A ,2009-03-11

[7]

扫描电子显微成像系统及显微测量方法 [P].

朱春涛 ;

邹功文 ;

郭积健 ;

张和君 .

中国专利 :CN118914259A ,2024-11-08

[8]

扫描式电子显微镜及检验及复检样本的方法 [P].

戴维·L·布朗 ;

勇-霍·亚历克斯·庄 ;

约翰·费尔登 ;

马塞尔·特伦颇 ;

张璟璟 ;

德维斯·孔塔拉托 ;

芬卡特拉曼·伊艾 .

中国专利 :CN106575594A ,2017-04-19

[9]

扫描式电子显微镜及检验及复检样本的方法 [P].

戴维·L·布朗 ;

勇-霍·亚历克斯·庄 ;

约翰·费尔登 ;

马塞尔·特伦颇 ;

张璟璟 ;

德维斯·孔塔拉托 ;

芬卡特拉曼·伊艾 .

中国专利 :CN110164745B ,2019-08-23

[10]

微材料扫描电子显微系统 [P].

陈小梅 .

中国专利 :CN204809185U ,2015-11-25

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