基板加热装置以及基板加热方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710573158.1

申请日：

2017-07-14

公开(公告)号：

CN107799434A

公开(公告)日：

2018-03-13

发明(设计)人：

加藤茂佐保田勉山谷谦一升芳明

申请人：

申请人地址：

日本国神奈川县

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291

代理人：

毛立群;杨楷

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20170714

共 50 条

[1]

基板加热装置、基板加热方法以及红外线加热器 [P].

加藤茂 ;

佐保田勉 ;

山谷谦一 ;

升芳明 .

中国专利 :CN107785240A ,2018-03-09

[2]

基板加热装置和基板加热方法以及基板处理系统 [P].

大久保智也 ;

杉山正树 .

中国专利 :CN102169811A ,2011-08-31

[3]

基板加热装置、基板处理系统以及基板加热方法 [P].

加藤茂 ;

细田浩 .

中国专利 :CN111383944A ,2020-07-07

[4]

基板加热装置和基板加热方法 [P].

陆小勇 ;

许晓伟 ;

左岳平 ;

田宏伟 ;

张宇 ;

龙春平 .

中国专利 :CN104681402A ,2015-06-03

[5]

基板加热装置和基板加热方法 [P].

西孝典 ;

北野高广 ;

奥村胜弥 .

中国专利 :CN100452296C ,2007-06-20

[6]

基板加热装置及基板加热方法 [P].

加藤茂 ;

山谷谦一 ;

升芳明 .

中国专利 :CN106971938A ,2017-07-21

[7]

基板加热装置和基板加热方法 [P].

水田诚人 ;

高柳康治 .

中国专利 :CN105374711A ,2016-03-02

[8]

加热装置、加热方法以及基板处理装置 [P].

池田太郎 ;

渡边直树 ;

波多野达夫 ;

山本伸彦 ;

镰田英纪 .

中国专利 :CN112153771A ,2020-12-29

[9]

基板加热系统以及基板处理装置 [P].

岩苔翼 ;

柳井佑美 .

中国专利 :CN111886672A ,2020-11-03

[10]

基板加热装置、基板处理系统及基板加热方法 [P].

加藤茂 ;

佐保田勉 ;

山谷谦一 ;

升芳明 .

中国专利 :CN108695194A ,2018-10-23

← 1 2 3 4 5 →