基板加热装置和基板加热方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510486773.X

申请日：

2015-08-10

公开(公告)号：

CN105374711A

公开(公告)日：

2016-03-02

发明(设计)人：

水田诚人高柳康治

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

G03F716

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳;王雪燕

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-10	授权	授权
2016-03-02	公开	公开
2017-03-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101706783510 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:201510486773X 申请日:20150810

共 50 条

[1]

基板加热装置和基板加热方法 [P].

陆小勇 ;

许晓伟 ;

左岳平 ;

田宏伟 ;

张宇 ;

龙春平 .

中国专利 :CN104681402A ,2015-06-03

[2]

基板加热装置和基板加热方法 [P].

西孝典 ;

北野高广 ;

奥村胜弥 .

中国专利 :CN100452296C ,2007-06-20

[3]

基板加热装置及基板加热方法 [P].

加藤茂 ;

山谷谦一 ;

升芳明 .

中国专利 :CN106971938A ,2017-07-21

[4]

基板加热装置以及基板加热方法 [P].

加藤茂 ;

佐保田勉 ;

山谷谦一 ;

升芳明 .

中国专利 :CN107799434A ,2018-03-13

[5]

基板加热装置和基板加热方法以及基板处理系统 [P].

大久保智也 ;

杉山正树 .

中国专利 :CN102169811A ,2011-08-31

[6]

基板加热装置和方法 [P].

覃事建 .

中国专利 :CN103743254A ,2014-04-23

[7]

基板加热装置、基板处理系统以及基板加热方法 [P].

加藤茂 ;

细田浩 .

中国专利 :CN111383944A ,2020-07-07

[8]

基板加热装置、基板处理系统及基板加热方法 [P].

加藤茂 ;

佐保田勉 ;

山谷谦一 ;

升芳明 .

中国专利 :CN108695194A ,2018-10-23

[9]

用于加热基板的加热装置和方法 [P].

埃德温·平克 ;

菲利普·霍茨 .

中国专利 :CN103222041B ,2013-07-24

[10]

基板加热装置和使用了该基板加热装置的基板处理装置 [P].

及川谕 .

中国专利 :CN110299308A ,2019-10-01

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