用于加热基板的加热装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201180036622.4

申请日：

2011-07-27

公开(公告)号：

CN103222041B

公开(公告)日：

2013-07-24

发明(设计)人：

埃德温·平克菲利普·霍茨

申请人：

申请人地址：

瑞士特吕巴赫

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139

代理人：

孙皓晨;姚卫华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-07-24	公开	公开
2020-03-24	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/67 登记生效日:20200305 变更事项:专利权人变更前权利人:东电电子太阳能股份公司变更后权利人:瑞士艾发科技变更事项:地址变更前权利人:瑞士特吕巴赫变更后权利人:瑞士特吕巴赫
2013-08-21	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101509123167 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2011800366224 申请日:20110727
2016-01-20	授权	授权

共 50 条

[1]

基板加热装置和基板加热方法 [P].

西孝典 ;

北野高广 ;

奥村胜弥 .

中国专利 :CN100452296C ,2007-06-20

[2]

基板加热装置和基板加热方法 [P].

陆小勇 ;

许晓伟 ;

左岳平 ;

田宏伟 ;

张宇 ;

龙春平 .

中国专利 :CN104681402A ,2015-06-03

[3]

基板加热装置和基板加热方法 [P].

水田诚人 ;

高柳康治 .

中国专利 :CN105374711A ,2016-03-02

[4]

基板加热装置和基板加热方法以及基板处理系统 [P].

大久保智也 ;

杉山正树 .

中国专利 :CN102169811A ,2011-08-31

[5]

用于加热基板的平板加热装置 [P].

单洪青 ;

张迎春 ;

李沅民 .

中国专利 :CN201708176U ,2011-01-12

[6]

基板加热装置和方法 [P].

覃事建 .

中国专利 :CN103743254A ,2014-04-23

[7]

基板加热装置及基板加热方法 [P].

加藤茂 ;

山谷谦一 ;

升芳明 .

中国专利 :CN106971938A ,2017-07-21

[8]

基板加热装置以及基板加热方法 [P].

加藤茂 ;

佐保田勉 ;

山谷谦一 ;

升芳明 .

中国专利 :CN107799434A ,2018-03-13

[9]

基板加热装置、基板处理系统以及基板加热方法 [P].

加藤茂 ;

细田浩 .

中国专利 :CN111383944A ,2020-07-07

[10]

基板加热装置、基板处理系统及基板加热方法 [P].

加藤茂 ;

佐保田勉 ;

山谷谦一 ;

升芳明 .

中国专利 :CN108695194A ,2018-10-23

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