一种蒸镀腔体

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811271840.6

申请日：

2018-10-29

公开(公告)号：

CN109321886A

公开(公告)日：

2019-02-12

发明(设计)人：

张瑞军伍丰伟王松

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1404 C23C1450

代理机构：

深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300

代理人：

黄威

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-02	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):C23C 14/24 变更事项:申请人变更前:深圳市华星光电技术有限公司变更后:TCL华星光电技术有限公司变更事项:地址变更前:518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号变更后:518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
2021-05-07	授权	授权
2019-03-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20181029
2019-02-12	公开	公开

共 50 条

[1]

蒸镀装置 [P].

松本祐司 ;

野田武史 ;

大工博之 .

中国专利 :CN103305797B ,2013-09-18

[2]

一种蒸镀源和蒸镀设备 [P].

杨国波 ;

奉洛阳 .

中国专利 :CN202144512U ,2012-02-15

[3]

一种蒸镀装置和蒸镀方法 [P].

韩冰 ;

陈闯 ;

陈牡丹 ;

李文星 .

中国专利 :CN115896707B ,2025-07-11

[4]

一种蒸镀装置和蒸镀方法 [P].

贾文斌 ;

范招康 ;

彭锐 ;

廖金龙 ;

朱飞飞 ;

高昕伟 ;

万想 .

中国专利 :CN108330462A ,2018-07-27

[5]

蒸镀设备 [P].

李嘉宸 .

中国专利 :CN209039572U ,2019-06-28

[6]

一种蒸镀载板及蒸镀装置 [P].

曾庆慧 ;

郭书鹏 .

中国专利 :CN204434500U ,2015-07-01

[7]

一种蒸镀基板支架及蒸镀设备 [P].

周爱清 ;

张浩杰 ;

陈志宽 .

中国专利 :CN217438286U ,2022-09-16

[8]

一种新型蒸镀坩埚装置 [P].

褚天舒 ;

汪烨辰 ;

刘志文 .

中国专利 :CN109898059A ,2019-06-18

[9]

一种柔性基板蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

赵德江 .

中国专利 :CN104862650A ,2015-08-26

[10]

一种掩模版、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

吴秋杰 .

中国专利 :CN112662993A ,2021-04-16

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