一种旋转靶材的打磨装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201921672102.2
申请日
2019-09-29
公开(公告)号
CN210633494U
公开(公告)日
2020-05-29
发明(设计)人
胡茂横
申请人
申请人地址
518000 广东省深圳市坪山区坑梓街道办事处秀新社区锦绣中路14号深福保现代光学厂区一期厂房103C区
IPC主分类号
B24B5506
IPC分类号
B01D2956 B01D2903 B01D4706 C02F902
代理机构
深圳市中科创为专利代理有限公司 44384
代理人
彭西洋;谢亮
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种旋转靶材的打磨装置 [P]. 
曹兴民 .
中国专利 :CN214770865U ,2021-11-19
[2]
一种旋转靶材的打磨装置 [P]. 
罗永春 .
中国专利 :CN202240825U ,2012-05-30
[3]
一种旋转靶材在线打磨装置 [P]. 
周伟东 ;
张顺 .
中国专利 :CN209239653U ,2019-08-13
[4]
一种旋转靶材表面打磨装置 [P]. 
陈标 ;
郭朋 ;
刘所心 .
中国专利 :CN213053964U ,2021-04-27
[5]
一种靶材打磨装置 [P]. 
惠知 ;
温艳玲 ;
葛小光 .
中国专利 :CN209533012U ,2019-10-25
[6]
一种旋转靶材在线打磨装置及打磨方法 [P]. 
周伟东 ;
张顺 .
中国专利 :CN111113160A ,2020-05-08
[7]
一种旋转靶材自动打磨台 [P]. 
臧龙杰 ;
周俊荣 ;
齐东淼 ;
沈雷振 ;
曾静 .
中国专利 :CN216179247U ,2022-04-05
[8]
一种旋转靶材制备装置 [P]. 
胡茂横 .
中国专利 :CN210711719U ,2020-06-09
[9]
一种靶材打磨装置 [P]. 
曹兴民 .
中国专利 :CN214771046U ,2021-11-19
[10]
一种节约型靶材打磨装置 [P]. 
温艳玲 ;
惠知 ;
葛小光 .
中国专利 :CN209533013U ,2019-10-25