共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种旋转靶材制备装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921647156.3
申请日：
2019-09-29
公开(公告)号：
CN210711719U
公开(公告)日：
2020-06-09
发明(设计)人：
胡茂横
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市坪山区坑梓街道办事处秀新社区锦绣中路14号深福保现代光学厂区一期厂房103C区
IPC主分类号：
C23C1434
IPC分类号：
C23C1435
C23C1450
C23C1452
代理机构：
深圳市中科创为专利代理有限公司 44384
代理人：
彭西洋;谢亮
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-09 | 授权 | 授权 |