一种砷化镓晶片片盒清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021504912.X

申请日：

2020-07-27

公开(公告)号：

CN214488097U

公开(公告)日：

2021-10-26

发明(设计)人：

郭辉刘欣蔡祗首杨涛

申请人：

申请人地址：

516000 广东省惠州市仲恺高新区陈江街道陈江大道北36号高新科技创新孵化器5楼501号

IPC主分类号：

B08B312

IPC分类号：

B08B1300 F26B2100

代理机构：

广州市红荔专利代理有限公司 44214

代理人：

余志军

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-26	授权	授权

共 50 条

[1]

砷化镓晶片片盒清洗装置 [P].

于会永 ;

冯佳峰 ;

王文昌 ;

赵春峰 ;

袁韶阳 ;

荆爱明 ;

穆成锋 ;

张军军 .

中国专利 :CN209205897U ,2019-08-06

[2]

一种砷化镓晶片片盒清洗装置 [P].

彭怀忠 ;

樊海强 ;

曲元瑗 ;

王鼎 .

中国专利 :CN213915368U ,2021-08-10

[3]

一种砷化镓晶片片盒清洗装置 [P].

徐海洋 .

中国专利 :CN216026902U ,2022-03-15

[4]

一种用于砷化镓晶片片盒清洗装置 [P].

卜俊鹏 .

中国专利 :CN215466778U ,2022-01-11

[5]

一种砷化镓晶片表面清洗装置 [P].

吕利宁 ;

粟誉 ;

蒙泽志 ;

代晓波 ;

彭春文 ;

彭海松 .

中国专利 :CN222980459U ,2025-06-13

[6]

一种砷化镓晶片表面清洗工装 [P].

袁宁 ;

张双双 ;

华平壤 .

中国专利 :CN216460459U ,2022-05-10

[7]

一种砷化镓晶片切割装置 [P].

许子俊 ;

马曾增 ;

袁许飞 .

中国专利 :CN223161161U ,2025-07-29

[8]

一种砷化镓晶片表面清洗工装 [P].

卜俊鹏 .

中国专利 :CN213826085U ,2021-07-30

[9]

一种砷化镓衬底专用清洗装置 [P].

彭怀忠 ;

樊海强 ;

曲元瑗 ;

王鼎 .

中国专利 :CN213483720U ,2021-06-18

[10]

一种砷化镓晶片清洗方法 [P].

徐永宽 ;

杨洪星 ;

刘春香 ;

吕菲 .

中国专利 :CN1787178A ,2006-06-14

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