一种砷化镓晶片表面清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421653460.X

申请日：

2024-07-12

公开(公告)号：

CN222980459U

公开(公告)日：

2025-06-13

发明(设计)人：

吕利宁粟誉蒙泽志代晓波彭春文彭海松

申请人：

独山中科晶元信息材料有限公司

申请人地址：

558200 贵州省黔南布依族苗族自治州独山县麻万镇麻抹组

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

B08B3/02 B08B3/14 F26B21/00

代理机构：

南昌智汇百川专利代理事务所(普通合伙) 36157

代理人：

刘鹏

法律状态：

授权

国省代码：

贵州省黔南布依族苗族自治州

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种砷化镓晶片表面清洗工装 [P].

卜俊鹏 .

中国专利 :CN213826085U ,2021-07-30

[2]

一种用于砷化镓晶片片盒清洗装置 [P].

卜俊鹏 .

中国专利 :CN215466778U ,2022-01-11

[3]

砷化镓晶片片盒清洗装置 [P].

于会永 ;

冯佳峰 ;

王文昌 ;

赵春峰 ;

袁韶阳 ;

荆爱明 ;

穆成锋 ;

张军军 .

中国专利 :CN209205897U ,2019-08-06

[4]

一种砷化镓晶片片盒清洗装置 [P].

郭辉 ;

刘欣 ;

蔡祗首 ;

杨涛 .

中国专利 :CN214488097U ,2021-10-26

[5]

一种砷化镓晶片片盒清洗装置 [P].

徐海洋 .

中国专利 :CN216026902U ,2022-03-15

[6]

一种砷化镓晶片片盒清洗装置 [P].

彭怀忠 ;

樊海强 ;

曲元瑗 ;

王鼎 .

中国专利 :CN213915368U ,2021-08-10

[7]

一种砷化镓晶片表面清洗工装 [P].

袁宁 ;

张双双 ;

华平壤 .

中国专利 :CN216460459U ,2022-05-10

[8]

一种砷化镓晶片表面清洁装置 [P].

程进 ;

龙光友 .

中国专利 :CN210159998U ,2020-03-20

[9]

一种砷化镓晶片表面清洁装置 [P].

程进 ;

龙光友 .

中国专利 :CN110013976A ,2019-07-16

[10]

一种砷化镓晶片清洗方法 [P].

徐永宽 ;

杨洪星 ;

刘春香 ;

吕菲 .

中国专利 :CN1787178A ,2006-06-14

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