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一种砷化镓晶片表面清洁装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910226003.X
申请日：
2019-03-25
公开(公告)号：
CN110013976A
公开(公告)日：
2019-07-16
发明(设计)人：
程进
龙光友
申请人：
申请人地址：
215600 江苏省苏州市张家港市凤凰镇凤凰科技创业园B幢2层苏州芯海半导体科技有限公司
IPC主分类号：
B08B100
IPC分类号：
A46B500
代理机构：
南京苏科专利代理有限责任公司 32102
代理人：
陈望坡;黄春松
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-08-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 1/00 申请日:20190325 |
| 2019-07-16 | 公开 | 公开 |