一种用于直写曝光机的UVLED阵列光源收集利用装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520691192.5

申请日：

2015-09-09

公开(公告)号：

CN204945617U

公开(公告)日：

2016-01-06

发明(设计)人：

曹常瑜

申请人：

申请人地址：

230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期H2楼533室

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G02B2709

代理机构：

合肥天明专利事务所 34115

代理人：

张祥骞;奚华保

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-02-07	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更事项:专利权人变更前:合肥芯碁微电子装备有限公司变更后:合肥芯碁微电子装备股份有限公司变更事项:地址变更前:230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期H2楼533室变更后:230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼11层
2016-01-06	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于直写曝光机的UVLED阵列光源收集利用装置 [P].

曹常瑜 .

中国专利 :CN105116689A ,2015-12-02

[2]

一种用于曝光机的阵列光源照明装置 [P].

欧高焓 ;

孙秀辉 ;

尹韶云 .

中国专利 :CN207316519U ,2018-05-04

[3]

一种用于曝光机的阵列光源照明装置 [P].

欧高焓 ;

孙秀辉 ;

尹韶云 .

中国专利 :CN107726060A ,2018-02-23

[4]

一种用于曝光机的阵列光源照明装置 [P].

蔡春景 .

中国专利 :CN210666334U ,2020-06-02

[5]

一种曝光机UVLED光源机构 [P].

王华 ;

陈志特 ;

杜金铃 ;

蒋斌 ;

袁正义 ;

苏红钿 .

中国专利 :CN204331289U ,2015-05-13

[6]

一种用于激光直写曝光机的曝光平台 [P].

王历先 .

中国专利 :CN211669496U ,2020-10-13

[7]

一种激光直写曝光机光源 [P].

庞超群 ;

谭军 ;

朱晓春 ;

顾海霞 .

中国专利 :CN118409477A ,2024-07-30

[8]

一种激光直写曝光机光源 [P].

庞超群 ;

谭军 ;

朱晓春 ;

顾海霞 .

中国专利 :CN118409477B ,2024-11-12

[9]

一种LED阵列光源曝光系统 [P].

蔡志国 ;

龚田 ;

李小明 .

中国专利 :CN206270655U ,2017-06-20

[10]

一种UVLED曝光光源强度稳定装置 [P].

谭艾英 ;

尹韶云 ;

杨若夫 ;

蔡文涛 ;

孙秀辉 .

中国专利 :CN206573854U ,2017-10-20

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