喷嘴清洗装置和晶圆清洗设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810081980.0

申请日：

2018-01-29

公开(公告)号：

CN108453084A

公开(公告)日：

2018-08-28

发明(设计)人：

王飞亚张文福高英哲

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

B08B308

IPC分类号：

B08B1300 H01L2167

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤;董琳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-08-28	公开	公开
2021-01-22	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B08B 3/08 申请公布日:20180828
2018-09-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 3/08 申请日:20180129

共 50 条

[1]

晶圆清洗设备 [P].

周华 ;

邢程 ;

边逸军 ;

陈亮 .

中国专利 :CN201282132Y ,2009-07-29

[2]

晶圆背面清洗装置、晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

徐俊成 ;

刘福生 ;

刘效岩 ;

康凯祥 .

中国专利 :CN119426317A ,2025-02-14

[3]

喷嘴清洗装置及晶圆清洗装置 [P].

王春峰 .

中国专利 :CN207357663U ,2018-05-15

[4]

晶圆清洗设备和晶圆清洗方法 [P].

吴俊桃 ;

章志兴 ;

刘本锋 ;

谢志勇 .

中国专利 :CN114188245B ,2025-04-08

[5]

晶圆清洗设备和晶圆清洗方法 [P].

史蒂文·贺·汪 ;

林鹏鹏 .

中国专利 :CN117766424A ,2024-03-26

[6]

晶圆清洗设备和晶圆清洗方法 [P].

吴俊桃 ;

章志兴 ;

刘本锋 ;

谢志勇 .

中国专利 :CN114188245A ,2022-03-15

[7]

晶圆清洗设备和晶圆清洗系统 [P].

张锋 .

中国专利 :CN114203572A ,2022-03-18

[8]

晶圆清洗装置及清洗设备 [P].

王鑫 ;

管昌新 ;

刘旭华 ;

张锐 ;

李剑 .

中国专利 :CN217191161U ,2022-08-16

[9]

晶圆清洗方法及晶圆清洗设备 [P].

金京宰 .

中国专利 :CN118610072A ,2024-09-06

[10]

晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

刘强 ;

丁明正 .

中国专利 :CN114361060A ,2022-04-15

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