晶圆清洗设备及晶圆清洗方法

被引：0

申请号：

CN202011089747.0

申请日：

2020-10-13

公开(公告)号：

CN114361060A

公开(公告)日：

2022-04-15

发明(设计)人：

金在植张成根林锺吉贺晓彬刘强丁明正

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

北京辰权知识产权代理有限公司 11619

代理人：

郎志涛

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20201013
2022-04-15	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

丁明正 ;

李亭亭 ;

刘金彪 .

中国专利 :CN112017999A ,2020-12-01

[2]

晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

初国超 .

中国专利 :CN111081603B ,2024-02-27

[3]

晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

初国超 .

中国专利 :CN111081603A ,2020-04-28

[4]

晶圆背面清洗装置、晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

徐俊成 ;

刘福生 ;

刘效岩 ;

康凯祥 .

中国专利 :CN119426317A ,2025-02-14

[5]

晶圆清洗方法及晶圆清洗设备 [P].

惠世鹏 .

中国专利 :CN110473773A ,2019-11-19

[6]

晶圆清洗方法及晶圆清洗设备 [P].

金京宰 .

中国专利 :CN118610072A ,2024-09-06

[7]

晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

何家鑫 ;

何艳红 ;

赵光远 .

中国专利 :CN118751588A ,2024-10-11

[8]

晶圆清洗设备 [P].

姚一现 .

中国专利 :CN221304588U ,2024-07-09

[9]

晶圆清洗装置、晶圆处理设备及晶圆清洗方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN112233996A ,2021-01-15

[10]

晶圆清洗设备和晶圆清洗系统 [P].

张锋 .

中国专利 :CN114203572A ,2022-03-18

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