在基于图形化蓝宝石衬底的石墨烯上生长氮化镓的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910544998.4

申请日：

2019-06-21

公开(公告)号：

CN110289207A

公开(公告)日：

2019-09-27

发明(设计)人：

宁静闫朝超王东张进成贾彦青王博宇

申请人：

申请人地址：

710071 陕西省西安市雁塔区太白南路2号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L310304

代理机构：

陕西电子工业专利中心 61205

代理人：

王品华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-27	公开	公开
2021-03-23	授权	授权
2019-10-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20190621

共 50 条

[1]

在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓薄膜的方法 [P].

何清华 ;

刘榕 ;

董彬忠 ;

陈长清 ;

刘昌 .

中国专利 :CN101431018B ,2009-05-13

[2]

在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置 [P].

侯想 ;

仇凯弘 .

中国专利 :CN206259379U ,2017-06-16

[3]

在纳米图形化蓝宝石衬底上外延生长氮化铝的方法 [P].

刘忠范 ;

陈召龙 ;

高鹏 .

中国专利 :CN109119327A ,2019-01-01

[4]

基于石墨烯的氮化镓外延层剥离方法 [P].

宁静 ;

贾彦青 ;

张进成 ;

闫朝超 ;

王东 ;

王博宇 ;

马佩军 ;

郝跃 .

中国专利 :CN110265356B ,2019-09-20

[5]

石墨烯改性图形化金属衬底上的氮化镓基薄膜及制备方法 [P].

秦福文 ;

马春雨 ;

白亦真 ;

王德君 ;

林国强 .

中国专利 :CN107083535A ,2017-08-22

[6]

一种在基于图形化硅衬底的石墨烯上生长氮化镓的方法 [P].

宾诚文 ;

李旭 ;

刘晨钰 ;

汪志刚 .

中国专利 :CN120727564A ,2025-09-30

[7]

在蓝宝石图形衬底上外延生长氮化物外延膜的方法 [P].

李鸿渐 ;

李盼盼 ;

李志聪 ;

李璟 ;

王国宏 .

中国专利 :CN102394261A ,2012-03-28

[8]

一种在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置 [P].

徐宏 ;

龚桦 ;

周德金 ;

黄伟 ;

吴超 ;

于理科 ;

夏泳 .

中国专利 :CN112071962A ,2020-12-11

[9]

石墨烯纳米图形化蓝宝石衬底及其制备方法 [P].

刘忠范 ;

陈召龙 ;

高鹏 .

中国专利 :CN109081332A ,2018-12-25

[10]

一种在蓝宝石衬底上生长氮化镓材料的方法、氮化镓材料及其用途 [P].

邢志刚 ;

林桂荣 .

中国专利 :CN107039250A ,2017-08-11

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