高精度硅传感器芯片腐蚀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03134098.9

申请日：

2003-09-28

公开(公告)号：

CN1601708A

公开(公告)日：

2005-03-30

发明(设计)人：

刘沁匡石张纯棣陈信琦

申请人：

申请人地址：

110026辽宁省沈阳市大东区北海街242号

IPC主分类号：

H01L213063

IPC分类号：

C23F132 B81C100

代理机构：

沈阳科威专利代理有限责任公司

代理人：

崔红梅

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-11-20	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101542122542 IPC(主分类):H01L 21/3063 专利号:ZL031340989 申请日:20030928 授权公告日:20071107 终止日期:20120928
2005-03-30	公开	公开
2007-11-07	授权	授权
2005-06-01	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

高精度硅传感器金属细管切割装置 [P].

张茂 .

中国专利 :CN103028774B ,2013-04-10

[2]

高精度传感器 [P].

唐淑娟 .

中国专利 :CN102455229A ,2012-05-16

[3]

高精度传感器 [P].

宫浩 ;

陈燕 ;

解焰阳 .

中国专利 :CN207335674U ,2018-05-08

[4]

深水位高精度传感器装置 [P].

张德煌 ;

覃颖 ;

丁晓波 .

中国专利 :CN201083513Y ,2008-07-09

[5]

经济型高精度硅压力传感器芯片及加工方法 [P].

贾文博 ;

张治国 ;

李永清 ;

何方 ;

祝永峰 ;

任向阳 ;

张娜 ;

李昌振 ;

王卉如 ;

钱薪竹 .

中国专利 :CN115615584A ,2023-01-17

[6]

一种高精度单晶硅传感器 [P].

黄付冲 .

中国专利 :CN220583654U ,2024-03-12

[7]

高精度ECT智能传感器 [P].

王化祥 ;

王琦 ;

崔自强 .

中国专利 :CN102364420A ,2012-02-29

[8]

高精度小角度传感器 [P].

康洪志 ;

王爱叶 ;

姜智德 ;

张五庭 ;

康玉祥 ;

王坤宗 ;

于飞 .

中国专利 :CN201497503U ,2010-06-02

[9]

一种高精度γ射线传感器的硅芯片工艺方法 [P].

何少伟 ;

马敏辉 ;

宋召海 .

中国专利 :CN112786733A ,2021-05-11

[10]

高精度位移传感器 [P].

张翠强 ;

田振 ;

王鹏 ;

李六连 ;

史鹏飞 ;

孙建运 .

中国专利 :CN108151689A ,2018-06-12

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