图形化方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710037440.4

申请日：

2007-02-12

公开(公告)号：

CN101246305B

公开(公告)日：

2008-08-20

发明(设计)人：

王谨恒

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

G03F114

IPC分类号：

G03F108 G03F100 G03F720 H01L21027

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

逯长明

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-12-28	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101254721628 IPC(主分类):G03F 1/14 专利号:ZL2007100374404 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更事项:共同专利权人变更前权利人:无变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司登记生效日:20111121
2008-08-20	公开	公开
2010-08-11	授权	授权
2008-10-15	实质审查的生效	实质审查的生效
2020-02-11	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 1/14 申请日:20070212 授权公告日:20100811 终止日期:20190212

共 50 条

[1]

图形化方法 [P].

张城龙 ;

黄瑞轩 ;

张海洋 .

中国专利 :CN104425217A ,2015-03-18

[2]

图形化方法 [P].

张海洋 ;

孟晓莹 .

中国专利 :CN104347392A ,2015-02-11

[3]

图形化方法 [P].

周俊卿 ;

张海洋 .

中国专利 :CN104425221A ,2015-03-18

[4]

图形化方法 [P].

周俊卿 ;

张海洋 .

中国专利 :CN104425222A ,2015-03-18

[5]

半导体图形化方法 [P].

尚飞 ;

何其暘 .

中国专利 :CN104425211B ,2015-03-18

[6]

后段制程中双重图形化方法 [P].

符雅丽 ;

王新鹏 ;

张海洋 .

中国专利 :CN103426810A ,2013-12-04

[7]

薄膜图形化方法 [P].

孙秋娟 ;

王浩敏 ;

左青云 ;

康晓旭 ;

谢红 ;

邓联文 ;

谢晓明 ;

江绵恒 .

中国专利 :CN103151245B ,2013-06-12

[8]

图形化方法及图形化结构 [P].

纪世良 ;

张翼英 ;

张海洋 .

中国专利 :CN111640654A ,2020-09-08

[9]

图形化方法 [P].

张海洋 ;

周俊卿 .

中国专利 :CN104425223B ,2015-03-18

[10]

图形化方法 [P].

姜长城 .

中国专利 :CN118039461A ,2024-05-14

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