后段制程中双重图形化方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210150780.9

申请日：

2012-05-15

公开(公告)号：

CN103426810A

公开(公告)日：

2013-12-04

发明(设计)人：

符雅丽王新鹏张海洋

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

G03F176

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-09-30	授权	授权
2013-12-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101558127727 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2012101507809 申请日:20120515
2013-12-04	公开	公开

共 50 条

[1]

双重图形化方法 [P].

张海洋 ;

孙武 .

中国专利 :CN102468136A ,2012-05-23

[2]

双重图形化方法 [P].

袁伟 .

中国专利 :CN102129968A ,2011-07-20

[3]

双重图形化方法 [P].

李凡 ;

张海洋 .

中国专利 :CN102478764A ,2012-05-30

[4]

双重图形化方法及双重图形化结构 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN109994379B ,2019-07-09

[5]

双重图形化方法 [P].

张海洋 ;

何其旸 .

中国专利 :CN103594337B ,2014-02-19

[6]

双重图形化方法 [P].

洪中山 .

中国专利 :CN102446703A ,2012-05-09

[7]

双重图形化方法 [P].

洪中山 .

中国专利 :CN102446704B ,2012-05-09

[8]

双重图形化方法 [P].

张海洋 ;

孙武 ;

张世谋 .

中国专利 :CN102466969A ,2012-05-23

[9]

双重图形化方法 [P].

张海洋 ;

周俊卿 .

中国专利 :CN102486996B ,2012-06-06

[10]

自对准双重图形化方法 [P].

胡华勇 .

中国专利 :CN103681293B ,2014-03-26

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