自对准双重图形化方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210333003.8

申请日：

2012-09-10

公开(公告)号：

CN103681293B

公开(公告)日：

2014-03-26

发明(设计)人：

胡华勇

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21302

IPC分类号：

H01L21265

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581674091 IPC(主分类):H01L 21/302 专利申请号:2012103330038 申请日:20120910
2014-03-26	公开	公开
2016-04-20	授权	授权

共 50 条

[1]

双重图形化方法 [P].

袁伟 .

中国专利 :CN102129968A ,2011-07-20

[2]

自对准双重图形化的方法 [P].

郭晓波 .

中国专利 :CN109860030B ,2019-06-07

[3]

双重图形化方法 [P].

张海洋 ;

孙武 .

中国专利 :CN102468136A ,2012-05-23

[4]

双重图形化方法 [P].

李凡 ;

张海洋 .

中国专利 :CN102478764A ,2012-05-30

[5]

一种自对准双重图形化的方法 [P].

罗啸 ;

陈春晖 ;

熊涛 ;

舒清明 .

中国专利 :CN107359111A ,2017-11-17

[6]

一种自对准双重图形化的方法 [P].

罗啸 ;

陈春晖 ;

熊涛 ;

舒清明 .

中国专利 :CN105977141A ,2016-09-28

[7]

一种自对准双重图形化的方法 [P].

郭晓波 .

中国专利 :CN111599675A ,2020-08-28

[8]

双重图形化方法及双重图形化结构 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN109994379B ,2019-07-09

[9]

双重图形化方法 [P].

张海洋 ;

何其旸 .

中国专利 :CN103594337B ,2014-02-19

[10]

双重图形化方法 [P].

洪中山 .

中国专利 :CN102446703A ,2012-05-09

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