双重图形化方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010509168.7

申请日：

2010-10-14

公开(公告)号：

CN102446703A

公开(公告)日：

2012-05-09

发明(设计)人：

洪中山

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L2131 H01L21311

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-11-28	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101477143637 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2010105091687 变更事项:申请人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更事项:申请人变更前权利人:无变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司登记生效日:20121031
2012-05-09	公开	公开
2012-06-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101271727888 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2010105091687 申请日:20101014
2014-06-18	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101701825923 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2010105091687 申请公布日:20120509

共 50 条

[1]

双重图形化方法 [P].

洪中山 .

中国专利 :CN102446704B ,2012-05-09

[2]

双重图形化方法及双重图形化结构 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN109994379B ,2019-07-09

[3]

双重图形化方法 [P].

张海洋 ;

孙武 .

中国专利 :CN102468136A ,2012-05-23

[4]

双重图形化方法 [P].

袁伟 .

中国专利 :CN102129968A ,2011-07-20

[5]

双重图形化方法 [P].

张海洋 ;

何其旸 .

中国专利 :CN103594337B ,2014-02-19

[6]

双重图形化方法 [P].

李凡 ;

张海洋 .

中国专利 :CN102478764A ,2012-05-30

[7]

双重图形化方法 [P].

张海洋 ;

周俊卿 .

中国专利 :CN102486996B ,2012-06-06

[8]

双重图形化方法 [P].

张海洋 ;

孙武 ;

张世谋 .

中国专利 :CN102466969A ,2012-05-23

[9]

自对准双重图形化方法 [P].

胡华勇 .

中国专利 :CN103681293B ,2014-03-26

[10]

双重图形化的方法 [P].

张城龙 ;

王彦 .

中国专利 :CN107731666A ,2018-02-23

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