一种自对准双重图形化的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610305005.4

申请日：

2016-05-10

公开(公告)号：

CN105977141A

公开(公告)日：

2016-09-28

发明(设计)人：

罗啸陈春晖熊涛舒清明

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区郭守敬路498号1幢502/15

IPC主分类号：

H01L21033

IPC分类号：

H01L21311

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

胡彬;孟金喆

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-10	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/033 申请公布日:20160928
2016-09-28	公开	公开
2016-10-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101684680285 IPC(主分类):H01L 21/033 专利申请号:2016103050054 申请日:20160510

共 50 条

[1]

自对准双重图形化方法 [P].

胡华勇 .

中国专利 :CN103681293B ,2014-03-26

[2]

一种自对准双重图形化的方法 [P].

罗啸 ;

陈春晖 ;

熊涛 ;

舒清明 .

中国专利 :CN107359111A ,2017-11-17

[3]

自对准双重图形化的方法 [P].

郭晓波 .

中国专利 :CN109860030B ,2019-06-07

[4]

一种自对准双重图形化的方法 [P].

郭晓波 .

中国专利 :CN111599675A ,2020-08-28

[5]

一种自对准双重图形化的方法 [P].

李刚 .

中国专利 :CN120164789A ,2025-06-17

[6]

双重图形化方法 [P].

张海洋 ;

孙武 .

中国专利 :CN102468136A ,2012-05-23

[7]

双重图形化方法 [P].

袁伟 .

中国专利 :CN102129968A ,2011-07-20

[8]

双重图形化方法 [P].

李凡 ;

张海洋 .

中国专利 :CN102478764A ,2012-05-30

[9]

双重图形化方法及双重图形化结构 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN109994379B ,2019-07-09

[10]

自对准双重图形化方法及其形成的半导体结构 [P].

刘继全 .

中国专利 :CN111524795A ,2020-08-11

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