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一种自对准双重图形化的方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510183444.1
申请日：
2025-02-19
公开(公告)号：
CN120164789A
公开(公告)日：
2025-06-17
发明(设计)人：
李刚
申请人：
重庆芯联微电子有限公司
申请人地址：
401331 重庆市沙坪坝区高新区西永街道西永大道28-2号SOHO楼601-A153
IPC主分类号：
H01L21/027
IPC分类号：
H01L21/033 H01L21/306 G03F7/00
代理机构：
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人：
余明伟
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-06-17 公开 公开
2025-07-04 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/027申请日:20250219
共 50 条
[1]
自对准双重图形化方法 [P]. 
胡华勇 .
中国专利 :CN103681293B ,2014-03-26
[2]
一种自对准双重图形化的方法 [P]. 
罗啸 ;
陈春晖 ;
熊涛 ;
舒清明 .
中国专利 :CN107359111A ,2017-11-17
[3]
一种自对准双重图形化的方法 [P]. 
罗啸 ;
陈春晖 ;
熊涛 ;
舒清明 .
中国专利 :CN105977141A ,2016-09-28
[4]
一种自对准双重图形化的方法 [P]. 
郭晓波 .
中国专利 :CN111599675A ,2020-08-28
[5]
双重图形化方法及双重图形化结构 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN109994379B ,2019-07-09
[6]
双重图形化方法 [P]. 
张海洋 ;
孙武 .
中国专利 :CN102468136A ,2012-05-23
[7]
双重图形化方法 [P]. 
袁伟 .
中国专利 :CN102129968A ,2011-07-20
[8]
双重图形化方法 [P]. 
张海洋 ;
何其旸 .
中国专利 :CN103594337B ,2014-02-19
[9]
双重图形化方法 [P]. 
洪中山 .
中国专利 :CN102446703A ,2012-05-09
[10]
双重图形化方法 [P]. 
李凡 ;
张海洋 .
中国专利 :CN102478764A ,2012-05-30
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