机械手用末端执行机构、机械手与晶圆搬运装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110419511.7

申请日：

2021-04-19

公开(公告)号：

CN113119144A

公开(公告)日：

2021-07-16

发明(设计)人：

叶晓通黄晶黄国辉

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市南山区艺园路马家龙田厦产业园(原27栋-29栋)5-001室

IPC主分类号：

B25J1500

IPC分类号：

B25J1508 B25J1100

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205

代理人：

谢岳鹏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B25J 15/00 申请日:20210419
2021-07-16	公开	公开

共 50 条

[1]

机械手用末端执行机构、机械手与晶圆搬运装置 [P].

叶晓通 ;

黄晶 ;

黄国辉 .

中国专利 :CN214870645U ,2021-11-26

[2]

末端执行机构及机械手 [P].

孟亚东 ;

鲍伟成 ;

张庆 ;

王文广 ;

梁烁 ;

王旭晨 ;

叶莹 .

中国专利 :CN218488434U ,2023-02-17

[3]

晶圆搬运机械手 [P].

武辉军 ;

王启林 ;

何豪文 ;

林猷强 ;

辛嘉伟 .

中国专利 :CN117410226A ,2024-01-16

[4]

晶圆搬运机械手 [P].

刘全益 ;

胡敬祥 ;

胡灿辉 .

中国专利 :CN218255164U ,2023-01-10

[5]

晶圆搬运机械手 [P].

武辉军 ;

王启林 ;

何豪文 ;

林猷强 ;

辛嘉伟 .

中国专利 :CN117410226B ,2024-08-06

[6]

晶圆搬运机械手 [P].

韩良华 .

中国专利 :CN204271064U ,2015-04-15

[7]

一种晶圆搬运机械手清理装置及搬运机械手 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN220474608U ,2024-02-09

[8]

新型晶圆搬运机械手 [P].

韩良华 .

中国专利 :CN204271057U ,2015-04-15

[9]

自动兼容多类产品搬运的机械手末端执行机构 [P].

戚昌威 ;

庹华 ;

宋斌 ;

杨冠卿 ;

汪波 ;

张玉蔚 .

中国专利 :CN210389228U ,2020-04-24

[10]

一种采摘机械手的末端执行机构 [P].

廖梓龙 ;

钟守炎 .

中国专利 :CN109500834A ,2019-03-22

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