一种大尺寸硅片切割方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201911116711.4
申请日
2020-01-10
公开(公告)号
CN113119328A
公开(公告)日
2021-07-16
发明(设计)人
李建弘 李海彬 唐昊 史丹梅 刘晓伟 危晨
申请人
申请人地址
300450 天津市滨海新区滨海高新区塘沽海洋科技园康祥道32号
IPC主分类号
B28D504
IPC分类号
B28D700 B28D704
代理机构
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213
代理人
栾志超
法律状态
实质审查的生效
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
一种大尺寸硅片切割装置 [P]. 
李建弘 ;
李海彬 ;
唐昊 ;
史丹梅 ;
刘晓伟 ;
危晨 .
中国专利 :CN211662383U ,2020-10-13
[2]
一种超薄硅片的切割方法 [P]. 
李帅 ;
危晨 ;
赵越 ;
王景然 ;
杜雪冬 ;
郭刚刚 ;
崔伟 ;
徐小龙 ;
郭超 ;
高兵 ;
王岩 ;
徐强 .
中国专利 :CN104441281B ,2015-03-25
[3]
大尺寸硅片金刚石线切割装置及方法 [P]. 
缪云 .
中国专利 :CN115070975A ,2022-09-20
[4]
一种切割光伏大尺寸硅片用金刚线及其制造方法 [P]. 
郭金城 ;
闫泽鹏 ;
郭强 ;
刘海涛 .
中国专利 :CN111636089B ,2020-09-08
[5]
一种大尺寸氮化铝陶瓷基板及其切割方法和应用 [P]. 
伍尚华 ;
李林 ;
伍海东 ;
张凤林 .
中国专利 :CN113021660A ,2021-06-25
[6]
一种用于金刚线切割大尺寸硅片的切削液及其制备方法 [P]. 
陈立飞 ;
陈燕杰 ;
马清怡 .
中国专利 :CN115505453A ,2022-12-23
[7]
一种砂浆切割大尺寸碳化硅体的方法 [P]. 
王锡铭 .
中国专利 :CN105922465A ,2016-09-07
[8]
一种大尺寸太阳能级硅片金刚线切割用冷却液 [P]. 
王嘉 ;
王艺澄 ;
刘传君 .
中国专利 :CN113667529A ,2021-11-19
[9]
一种大尺寸切片切割工装及切割系统 [P]. 
王旗 ;
马立兴 ;
邵殿领 ;
宋生 ;
赵树春 ;
杨晓俐 ;
李霞 ;
宁秀秀 ;
潘亚妮 .
中国专利 :CN221676165U ,2024-09-10
[10]
一种N型大尺寸超薄硅片用多线切割冷却液 [P]. 
杨超 ;
冯琰 ;
王艺澄 ;
黄振华 .
中国专利 :CN115537260A ,2022-12-30