一种单晶硅片清洗剂及其应用

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专利类型
发明
申请号
CN202011593747.4
申请日
2020-12-29
公开(公告)号
CN112608799B
公开(公告)日
2021-04-06
发明(设计)人
喻桉 史华红 麦裕良 文武
申请人
申请人地址
510665 广东省广州市天河区棠下车陂西路318号
IPC主分类号
C11D114
IPC分类号
C11D304 C11D320 C11D330 C11D339 C11D1100 H01L3118 C11D360
代理机构
广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205
代理人
肖云
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
单晶硅片水基清洗剂 [P]. 
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[3]
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邵凡 .
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[4]
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[7]
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[8]
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硅片清洗剂 [P]. 
袁峰 .
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