一种具有多掩模的光刻机硅片台系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910172951.6

申请日：

2009-09-11

公开(公告)号：

CN101694561B

公开(公告)日：

2010-04-14

发明(设计)人：

朱煜张鸣汪劲松田丽徐登峰尹文生段广洪胡金春许岩

申请人：

申请人地址：

100084 北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

邸更岩

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-04-14	公开	公开
2010-05-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101002366588 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2009101729516 申请日:20090911
2011-07-20	授权	授权
2015-12-02	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101724518820 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2009101729516 登记生效日:20151112 变更事项:专利权人变更前权利人:清华大学变更后权利人:清华大学变更事项:地址变更前权利人:100084 北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室变更后权利人:100084 北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室变更事项:专利权人变更前权利人:无变更后权利人:北京华卓精科科技股份有限公司

共 50 条

[1]

具有多掩模的光刻机硅片台系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

田丽 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

胡金春 ;

许岩 .

中国专利 :CN201583783U ,2010-09-15

[2]

多掩模的光刻机硅片台系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

田丽 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

胡金春 ;

许岩 .

中国专利 :CN201527541U ,2010-07-14

[3]

一种多掩模的光刻机硅片台系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

田丽 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

胡金春 ;

许岩 .

中国专利 :CN101694562A ,2010-04-14

[4]

呈阵列布置的多掩模光刻机硅片台系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

田丽 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

胡金春 ;

许岩 .

中国专利 :CN201503535U ,2010-06-09

[5]

一种呈阵列布置的多掩模光刻机硅片台系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

田丽 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

胡金春 ;

许岩 .

中国专利 :CN101694563B ,2010-04-14

[6]

一种光刻机掩模台 [P].

谭军 ;

庞超群 ;

朱晓春 ;

朱凯 .

中国专利 :CN118444538B ,2024-11-01

[7]

一种光刻机掩模台 [P].

谭军 ;

庞超群 ;

朱晓春 ;

朱凯 .

中国专利 :CN118444538A ,2024-08-06

[8]

一种多工位光刻机硅片台系统 [P].

章广飞 ;

王运钢 ;

薛业保 ;

李文静 .

中国专利 :CN119511650B ,2025-04-15

[9]

一种多工位光刻机硅片台系统 [P].

章广飞 ;

王运钢 ;

薛业保 ;

李文静 .

中国专利 :CN119511650A ,2025-02-25

[10]

一种光刻机掩模台横梁 [P].

吴飞 ;

王茜 ;

周瑞良 ;

刘剑 ;

魏巍 .

中国专利 :CN202677060U ,2013-01-16

← 1 2 3 4 5 →