一种多工位光刻机硅片台系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510081438.5

申请日：

2025-01-20

公开(公告)号：

CN119511650A

公开(公告)日：

2025-02-25

发明(设计)人：

章广飞王运钢薛业保李文静

申请人：

安徽国芯智能装备有限公司

申请人地址：

230051 安徽省合肥市包河经济开发区重庆路与兰州路交叉口中关村协同创新智汇园D3栋1楼

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

H01L21/67 H01L21/677

代理机构：

合肥律众知识产权代理有限公司 34147

代理人：

朱姣

法律状态：

公开

国省代码：

河北省衡水市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-25	公开	公开
2025-04-15	授权	授权
2025-03-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20250120

共 50 条

[1]

一种多工位光刻机硅片台系统 [P].

章广飞 ;

王运钢 ;

薛业保 ;

李文静 .

中国专利 :CN119511650B ,2025-04-15

[2]

一种多工位硅片光刻机 [P].

秦有贵 ;

辛奇 ;

胡凯 ;

徐峰 ;

杨军 ;

闫乐成 ;

秦宝宏 .

中国专利 :CN217425924U ,2022-09-13

[3]

一种多工位硅片光刻机 [P].

高培成 .

中国专利 :CN212302210U ,2021-01-05

[4]

多掩模的光刻机硅片台系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

田丽 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

胡金春 ;

许岩 .

中国专利 :CN201527541U ,2010-07-14

[5]

一种多掩模的光刻机硅片台系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

田丽 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

胡金春 ;

许岩 .

中国专利 :CN101694562A ,2010-04-14

[6]

具有多掩模的光刻机硅片台系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

田丽 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

胡金春 ;

许岩 .

中国专利 :CN201583783U ,2010-09-15

[7]

一种光刻机硅片台线缆台 [P].

朱煜 ;

陈亚英 ;

张鸣 ;

徐登峰 ;

汪劲松 .

中国专利 :CN102200698B ,2011-09-28

[8]

一种具有多掩模的光刻机硅片台系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

田丽 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

胡金春 ;

许岩 .

中国专利 :CN101694561B ,2010-04-14

[9]

一种光刻机硅片台双工位交换装置 [P].

周杰 ;

张琪 ;

李俊毅 ;

符友银 .

中国专利 :CN216248756U ,2022-04-08

[10]

光刻机硅片台驱动装置 [P].

刘育 .

中国专利 :CN102830591B ,2012-12-19

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