一种多工位硅片光刻机

被引：0

申请号：

CN202221125625.7

申请日：

2022-05-13

公开(公告)号：

CN217425924U

公开(公告)日：

2022-09-13

发明(设计)人：

秦有贵辛奇胡凯徐峰杨军闫乐成秦宝宏

申请人：

申请人地址：

201314 上海市浦东新区宣桥镇宣春路182号7幢一层

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

H01L21687

代理机构：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种多工位硅片光刻机 [P].

高培成 .

中国专利 :CN212302210U ,2021-01-05

[2]

一种多工位光刻机硅片台系统 [P].

章广飞 ;

王运钢 ;

薛业保 ;

李文静 .

中国专利 :CN119511650B ,2025-04-15

[3]

一种多工位光刻机硅片台系统 [P].

章广飞 ;

王运钢 ;

薛业保 ;

李文静 .

中国专利 :CN119511650A ,2025-02-25

[4]

一种光刻机硅片传送装置 [P].

鹿庆文 .

中国专利 :CN216052603U ,2022-03-15

[5]

一种光刻机硅片取片机构 [P].

薛业保 ;

章广飞 ;

王运钢 .

中国专利 :CN220962136U ,2024-05-14

[6]

一种光刻机硅片台双工位交换装置 [P].

周杰 ;

张琪 ;

李俊毅 ;

符友银 .

中国专利 :CN216248756U ,2022-04-08

[7]

多掩模的光刻机硅片台系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

田丽 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

胡金春 ;

许岩 .

中国专利 :CN201527541U ,2010-07-14

[8]

一种光刻机硅片转移机构 [P].

刘炫烨 .

中国专利 :CN207473297U ,2018-06-08

[9]

一种光刻机硅片盛放盒 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN212905894U ,2021-04-06

[10]

手动双工位光刻机 [P].

张其文 ;

扶小莲 ;

刘阳波 ;

陈正洪 .

中国专利 :CN221149146U ,2024-06-14

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