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一种光刻机硅片传送装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202122613270.8
申请日：
2021-10-28
公开(公告)号：
CN216052603U
公开(公告)日：
2022-03-15
发明(设计)人：
鹿庆文
申请人：
申请人地址：
250200 山东省济南市章丘市明水绣源路中段（吕家村北）
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
北京华沛德权律师事务所 11302
代理人：
房德权
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-15 | 授权 | 授权 |