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一种光刻机的晶片传送装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511050639.5
申请日：
2025-07-29
公开(公告)号：
CN120854351A
公开(公告)日：
2025-10-28
发明(设计)人：
文刚建
李来金
叶昌珊
申请人：
惠州君弘自动化设备有限公司
申请人地址：
516083 广东省惠州市大亚湾西区龙海二路2号
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/683
G03F7/20
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-10-28 | 公开 | 公开 |
| 2025-11-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20250729 |