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一种光刻机的光罩传送手臂
被引：0
申请号：
CN202222598910.7
申请日：
2022-09-29
公开(公告)号：
CN218087830U
公开(公告)日：
2022-12-20
发明(设计)人：
阮春军
骆建钢
申请人：
申请人地址：
201314 上海市浦东新区良腾路6号
IPC主分类号：
B65G4791
IPC分类号：
代理机构：
上海思捷知识产权代理有限公司 31295
代理人：
郑星
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-20 | 授权 | 授权 |